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友达光电(昆山)有限公司第一阶段建设项目环保“三同时”执行情况报告 说明 友达光电（昆山）有限公司第8.5代TFT-LCD项目变更为第6代LTPS TFT-LCD项目环境影响报告书涵括总产能60K，公司分三阶段建设完成，第一阶段12.5K(已完成)、第二阶段12.5K(建设中)，总产能达25K、第三阶段35k，总产能达60K。此次验收为第一阶段产能12.5K。  一、建设项目概况（一）建设项目名称、行业类别、生产规模、建设地点、投资总额、开工日期、建成日期、占地面积、职工人数、工作制度。 项目31.22亿美元（二）建设项目主体工程及产品方案、公用及辅助工程详细情况。阵列工程（铝制程）彩膜工程成盒工程模块 阵列工程生产工艺流程见图1.1-1 1.2彩膜工程 彩色滤光片（Color Filter）是LCD中最重要的关键性零部件之一，其品质好坏对于LCD色彩的表现至为重要。根据彩色滤光片的结构，其生产工序包括玻璃基板清洗、黑色矩阵膜（BM）形成、彩色滤光膜（红绿蓝R/G/B）形成、保护膜（Over Coat）生成、PS层生成等工序。 彩色滤光片Color Filter的基本结构见图1.2-1所示，从图中可见，其结构由下而上分别是：玻璃基板/黑色矩阵层（BM层）/彩色矩阵层（RGB层）/保护层（OC层）/导电层（ITO层）。 图1.2-1 彩色滤光片Color Filter基本结构图 以下对各层的功能分别介绍如下： ①玻璃基板：采用无碱玻璃，是整个彩色滤光片加工的载体，要求热膨胀系数小、平坦性能好。 ②BM层（Black Matrix层）：为了提高LCD的对比度，防止TFT元件产生光漏电流，与遮掩LCD显示时的漏光等不良现象。 BM层使用的材质为非金属，一种环保性能相对较好的非金属黑色树脂，要求遮光性强、反射率低、与玻璃的附着性好。 ③RGB层（红色/绿色/蓝色层）：LCD之所以会有颜色，是因为背光光源的白光通过CF上的RGB三个色层时，分别会产生红色、绿色、蓝色三种颜色，通过这三原色的组合而构成各种色彩，要求高透过率、高色纯度。 ④ITO导电层：由于CF将作为TFT-LCD面板的另一个共通电极，因此，在完成保护膜制作后，在RGB光阻层及保护膜层上方，还需要溅镀一层透明的导电层。常用的溅射材料为ITO（铟锡合金，In2O3/SnO2）靶材。 LCD用彩色滤光片CF目前通常采用颜料分散法、平面工艺实现，即把红/绿/蓝三色颜料分别掺和在光刻胶中，再用匀胶、曝光、显影等平面工艺分别制作矩阵，其工艺流程大致分为五部分，即BM（黑色矩阵），RGB彩色矩阵（红色、绿色、蓝色三色），保护层（OC）与溅射ITO膜。 此外为了进一步改进CF的显示功能，还开发出了PS层新技术。 PS层（Photo Spacer层）：传统TFT-LCD面板工程成盒工序中，在阵列玻璃与彩膜玻璃（彩色滤光片）之间由随机洒布的间隔球（spacer bead）来支撑，具有在间隔球周围有漏光现象，容易产生白点等缺点，为了克服这些缺点，目前开发出以光刻胶柱状物（Photo Spacer）来取代传统的间隔球（spacer bead），有利于提高LCD的对比度。采用的制造工艺与RGB相同。PS结构见图1.2-2。 图1.2-2 PS结构示意图 彩膜工程生产工艺流程图见图1.2-3。 1.3成盒工程 成盒生产车间负责制屏工序，即负责从PI涂敷、固化、摩擦、液晶注入、紫外固化、切割、磨边、测试等各工序的生产。 成盒过程是将阵列基板和彩色滤光片经清洗，表面涂敷取向膜、经固化、摩擦配向处理，在阵列基板涂布封框胶及进行液晶注入，两基板在真空中粘合、固化，即成盒。再根据下游厂家的需求进行盒分割，再贴上偏光片，加入电信号作图像检查后即成为LCD面板。 成盒工程工艺流程图见图1.3-1。 图1.3-1 成盒工艺流程图1.4薄化工艺 玻璃薄化是变更项目新增的工程，主要是指使用化学或物理方法使面板玻璃的厚度变小，以达到面板轻薄化的目的。主要使用氢氟酸或含氢氟酸的混酸与玻璃面板表面接触，通过化学反应方式溶解面板表面层的玻璃，主要工艺制程在成盒工程后进行，主要程序为封止、清洗、蚀刻、清洗、质量检查、研磨、清洗和质量检查。薄化工程的工艺流程图见图1.4-1。 1.5触控工程 触控工程也是变更项目新增的制程，使用薄化工程后的玻璃基板，充分清洗后，在其清洁干净的表面上，通过溅射镀膜的方法形成ITO膜，经光刻胶涂敷、光刻胶曝光、显影等光刻工艺并经湿法刻蚀后，剥离掉多余的光刻胶，经热处理后即做成触控基板。触控生产车间负责触控工程的生产，包括玻璃基板清洗、溅射、光刻、刻蚀、剥离等工序。触控工程的工艺流程图见图1.5-1。 1.6模块工程 模块