微加热器热传导试验与计算.pdf

第 卷 第 期 光学 精密工程 １９ ３ 　 Ｖｏｌ．１９ Ｎｏ．３ 　 　 　　　　 　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　 　　 　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２０１１ ３ Ｍａｒ．２０１１ 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２０１１０３０６１２０８ 　 微加热器热传导试验与计算 １ ２ ２ 刘泽文 ，田 昊 ，刘 冲 　 　 （ 清华大学 微电子学研究所，北京 ； １． １０００８４ ２．大连理工大学 辽宁省微纳米技术及系统重点实验室，辽宁 大连 １１６０２４） 摘要：为了研究微加热膜下方的结构与微加热器性能的关系，利用数值计算与有限元仿真，研究了微加热膜下方空气隙 厚度的变化对加热器性能的影响。首先，通过微加热器试验确定了对流换热系数等关键热学计算参数，建立了一维 Ｆｏｕｒｉｅｒ导热微分方程组，计算了Ｂｉｏｔ数并以此为依据对模型进行了薄壁简化，使用有限差分法对微分方程进行了数值 计算。然后，使用 ＡＮＳＹＳ有限元分析软件对模型进行了电热耦合仿真，并对在对流换热边界下硅衬底（无空气隙）， ， ， ， 气隙以及加热膜（完全贯通）种模型的瞬态温度响应及稳态热分布的结果进行了对比。计算结果 １００２００３００４００ ｍ ６ μ 表明，相比硅衬底，目前的微加热膜结构在同样边界条件下可以将最高温度提高约 １７％。空气隙为 ２００ ｍ时，在＋５Ｖ μ 驱动电压和空气对流边界条件下，微加热器可以达到 ３９０Ｋ，稳态功耗为 １３４ｍＷ，起到了改善最高温度性能，降低功耗 的作用。 关 键 词：微加热器； 数； 传热 Ｂｉｏｔ Ｆｏｕｒｉｅｒ 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ： ／ Ｏ５５１．３ＴＰ２１２ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＯＰＥ０６１２ 　　 　　 犈狓犲狉犻犿犲狀狋犪狀犱狋犺犲狉犿犪犾犮犪犾犮狌犾犪狋犻狅狀狅犳犿犻犮狉狅犺犲犪狋犲狉 狆 １ ２ ２ ， ， ＬＩＵＺｅｗｅｎ ＴＩＡＮＨａｏ ＬＩＵＣｈｏｎｇ （ ， ， ， ； １．犐狀狊狋犻狋狌狋犲狅 犕犻犮狉狅犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮狊 犜