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第四届高效加工技术研讨会 2013 3 28-29 年 月 日无锡 微型机床 和桌面工厂 上海市科技功臣 全国优秀科技工作者 中国机械工程学会 荣誉理事 同济大学教授 张 曙 微小尺度加工技术 Prof. Shu Zhang Institute on Advanced Manufacturing Technology, Tongji University 典型的微型元器件 胶囊式内窥镜 压电微型泵 微型机器人 加速度传感器 微飞行器 微机械 Prof. Shu Zhang Institute on Advanced Manufacturing Technology, Tongji University 典型的微型零件 微型零件（背景为指纹） Prof. Shu Zhang 微型齿轮 Institute on Advanced Manufacturing Technology, Tongji University 微型元器件的应用领域 信息技术和电子产品：微型摄像头、微马达、微型夹 持与微装配系统、电子封装等。 汽车工业：安全气囊加速度传感器、发动机压力计、 导向陀螺仪、废气排放、无人驾驶系统等。 国防领域：弹药引信、微型传感器、微制导系统、光 学元件、作战机器人和微机器人群等。 航空航天领域：微卫星零部件、微激光陀螺、微推进 系统、微飞行器、无人侦察机等。 医疗领域：微创外科手术、血管支架、生物芯片、血 管机器人、内窥镜等。 Prof. Shu Zhang Institute on Advanced Manufacturing Technology, Tongji University 微小尺度加工的概念 -5 -3 零件特征尺寸在数十μm (10 )到数mm (10 ) ，公差 为亚微米(10-7)的切削加工、成形加工和电加工 微加工是传统加工和纳米加工之间的桥梁，新的技术 创新领域 微小尺度 超精密加工 纳米加工 传统尺度加工 MEMS 微小尺度加工 10-9 10-7 10-5 10-3 10-1 零件特征尺寸 Prof. Shu Zhang Institute on Advanced Manufacturing Technology, Tongji University 微小尺度加工的意义 微小尺度加工发展 微型零件 的两大推动力：节 能环保和低成本！