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浅谈石英晶体生产设备真空测量技术 　　摘要：SMD石英晶体谐振器与石英晶体振荡器在现代通讯领域、数字消费产品中广泛应用，在实际工作中总结石英晶体元器件生产设备真空测量技术。 　　关键词：石英晶体；真空设备；真空测量；真空计 　　中图分类号：TM22+9.1文献标识码：A文章编号：1009-3044(2011)26-6514-03 　　Discussion on Crystal Producting Equipment about Vacuum Measuring Technology 　　DUAN Zong-tao 　　(Tangshan Jingyuanyufeng Electronics Co. Ltd., Yutian 064100, China) 　　Abstract: SMD quartz crystal and oscillator in modern communications, digital consumer products are widely used. In the practical work, summed up the quartz crystal equipment of vacuum measuring technique. 　　Key words: crystals; equipment of vacuum; vacuum measuring; vacuometer 　　1 真空测量概述 　　SMD石英晶体谐振器与石英晶体振荡器作为时钟波源，有着体积小、频率稳定的特点，在现代通讯领域、数字消费产品中广泛应用。随着应用领域对精度、稳定性要求越来越高，要求其在生产环节的镀膜、微调、封焊必须在高真空下作业，本文为在生产实践中对真空测量的理解并结合教材的总结。 　　1.1 真空度的表征 　　根据美国真空学会（1958年）的定义，真空是指充有低于标准大气压力的气体给定空间，即分子密度n＜2.5E19cm3的给定空间。 　　真空测量就是真空度的测量，而真空度是指低于大气压的气体稀薄程度。根据真空度的定义，真空度最好用分子密度n表示，与以压力表示真空度并不矛盾。测量压力时，一般处于平衡状态并满足麦克斯韦速度分布定律，即p=nkT。测量时气体温度一定，所以气体压力p正比于分子密度n，也就是说，压力是分子密度的量度，所以可以用压力表示真空度。 　　一般情况下，以压力表示真空度是流行的，但不唯一，还可以用分子密度、分子平均自由程、碰撞次数、覆盖时间来表示真空度。 　　1.2 描述真空度的常用单位如下： 　　根据气体分子对表面碰撞而定义的气体压力，是碰撞单位表面积气体分子动量垂直分量的时间变化率，即单位面积上所受的力，单位为“帕斯卡”(Pascal)，简称“帕”(Pa)，即 1Pa = 1Nm-2 　　在工程上常用：Pa，KPa，MPa，N/m2，mbar，Torr，mmHg等。 　　各量度之间换算关系如下： 　　1atm= 101，325 Pa = 760 Torr= 1.01 Bar = 1010 Mbar = 0.76E 6 mTorr 　　1 Mbar = 100 Pa = 750 Microns 　　1.3 真空的测量 　　真空度是指低于大气压力的气体稀薄程度。压力高意味着真空度低；反之，压力低与真空度高相对应。以压力表示真空度是由于历史上沿用下来的，并不十分合理。真空测量包括全压力测量、分压力测量和真空计校准三个部分。 　　真空技术中遇到的气体压力都很低，如有时要测l0-10pa的压力，这样极小的压力用直接测量单位面积所承受的力是不可能的。因此，测量真空度的办法通常是在气体中造成一定的物理现象，然后测量这个过程中与气体压力有关的某些物理量，再设法间接确定出真实压力来。 　　用以探测低压空间稀薄气体压力所用的仪器称为真空计。本文压力的测量是指比大气压力小得多的气体压力测量。真空计种类繁多，工作原理各异，除极少数几种是直接测量压力外，其它几乎都是间接测量压力的。表1列举不同真空区间的物理特性及适合的真空泵、真空计。 　　在近代真空测量技术中，分压力测量越来越重要。这里所说的分压力测量是指全面地测出混合气体各组成成分的分压力。这样，混合气体的全压力就等于其各组成成分的分压力之和。 　　现代分压力真空计都属于电离类，即先将气体电离，然后将所得的各成分离子加速，再把离子引进分析器，将离子分开，分别测出各成分离子流强度，便可知气体的成分和数量。分析器有磁的、电的、电磁结合和其它方式等。 　　正确的压力测量必须对真空计进行校准。因为多数真空计是通过与压力有关的物理量来间接反应压力，而不能直接通过真空计有关参数计算求得压力值。这种真空计必须用标准真空计或能产生