金属样品扫描电镜二次电子特性蒙特卡洛模拟.pdfVIP

^A 第34卷 第4期 固体电子学研究与进展 Vo1．34，No．4 2014年 8月器 RESEARCH&PROGRESSOFSSE Aug．，2014 件物理与器件 《 金属样品扫描电镜一一汗，人电子特性蒙特卡洛模拟 汪春华 李维勤 (西安航空学院，西安，710077) (西安理工大学 自动化与信息工程学院，西安，710048) 2014—01—20收稿 ，2014—04—08收改稿 摘要 ：采用较为准确 的考虑 电子散射和二次电子出射过程 的蒙特卡洛模型，研究了不 同金属样 品的二次电子 产额、能谱、出射角度、出射位置，模拟二次电子成像 电流和扫描 电镜二次电子图像。模拟结果表明，二次电子能谱 的最可几能量和峰值半宽度略高于实验结果；二次电子出射角度呈现近似的余弦分布；随着入射 电子束能量的提 高，二次电子出射范围越大，对应二次电子图像的分辨率降低，但会提高图像衬度 ；二次电子收集器电压越高，二次 电子成像 电流越大。模拟得到的扫描 电镜二次电子图像与实验结果较为接近。 关键词 ：二次 电子 ；扫描 电镜 ；散射 ；蒙特卡洛模拟 中图分类号：TN407 文献标识码 ：A 文章编号：1000—3819(2014)04—0334—07 M onteCarloSimulation ofSecondaryElectronCharacteristics oftheM etalSamplesin SEM W ANG Chunhua LIW eiqin。 (XianAeronauticalUniversity，Xi口 ，710077，CHN) (SchoolofAutomationandInformationEngineering，XianUniversityofTechnology，Xian，710048，CHN) Abstract：ByemployingMonteCarlomethodthatincorporatestheelectronscatteringande— mittingprocess，thesecondaryelectron (SE)yield，spectroscopy，emittingangle，emittingposi— tion，andsimulatedSE currentandthescanningelectronmicroscopy (SEM )imageofmetalsam— piesarestudiedandclarified．Simulation resultsshow thatthemostprobableenergyandhalf- peakwidthoftheSE spectroscopyaregreaterthantheexperimentalones；theSE emittingangle obeysthecosinedistribution．W iththeincreaseofthebeam energy，theSE emittingrangeenlar— gesandconsequentlySE imageresolutiondecreases，howevertheimagecontrastincreases；with theincreaseoftheSE collectorvoltage，theSE imagingcurrentincreases．ThesimulatedSEM imageisinagreementwiththeexperimentalones． Keywords：secondaryelectron；scanningelectronmicroscope；scattering；MonteCarlosimula tion EEACC：0530；O240G