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高功率激光装置前端能量控制系统-光子学报
第 卷第 期 光 子 学 报
４３ ４
Ｖｏｌ．４３Ｎｏ．４
年 月
２０１４ ４ ＡＣＴＡＰＨＯＴＯＮＩＣＡＳＩＮＩＣＡ Ａ ｒｉｌ２０１４
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高功率激光装置前端能量控制系统
殷冰雨，李国杨，李学春，范薇
（中国科学院上海光学精密机械研究所，上海 ２０１８００）
摘 要：针对神光 高功率激光装置前端预放系统输出的能量设计了一种远程能量控制系统，包括半
ＩＩ
波片 偏振片组合衰减装置以及闭环负反馈控制系统的设计 在光学调整方案上，设计了半波片 偏振片
．
组合衰减装置，对激光能量进行衰减控制 在控制算法上，实现了对能量控制的闭环比例积分微分调整
． ．
在调整准确度上，实现了调整准确度为 ，误差低于 的精确控制 本文所设计的高功率激光装置
１％ ０．１％ ．
前端能量控制系统利用能量计、步进电机与计算机软件之间的相互通信来实现对能量的闭环比例积分
微分控制，适用范围广，可扩展性好，并具有简单易调整、控制精密、结果准确等特点．
关键词：激光物理；自动控制应用理论；闭环比例微分积分控制；脉冲激光能量；激光应用；激光脉冲；能
量控制；控制设备
中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ）
ＴＮ２４８ Ａ １００４４２１３２０１４０４０４１４００１６
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