压电陶瓷驱动系统及控制方法研究-光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １５ ３ 　 Ｖｏｌ．１５ Ｎｏ．３ 　 　 　　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００７ ３ Ｍａｒ．２００７ 　 　 　　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００７０３０３６８０４ 　 压电陶瓷驱动系统及控制方法研究 范 伟，余晓芬，奚 琳 　 　 （合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院，安徽 合肥２３０００９） 摘要：给出了一种压电陶瓷驱动系统的控制方法，利用 ＶＢ中的Ｔｉｍｅｒ控件和压电陶瓷电源的ＤＬＬ动态连接库函数，实 现了控制电压的实时可编程输出。针对压电陶瓷驱动器的非线性和迟滞特性，应用 ＭＡＴＬＡＢ分别拟合出压电陶瓷驱 动器在往返行程中电压与位移值的多项式拟合曲线，得到了电压与位移的关系式，为进一步修正和减少非线性及迟滞误 差的影响、提高系统的定位精度，提供了分析的依据。 关 键 词：压电陶瓷驱动器；控制方法；迟滞；非线性 　 　 中图分类号： 文献标识码： ＴＮ３８４ Ａ 　　 犚犲狊犲犪狉犮犺狅狀犱狉犻狏犻狀 狊狊狋犲犿犪狀犱犮狅狀狋狉狅犾犾犻狀 犿犲犪狀狊狅犳犘犣犜 犵狔 犵 ， ， ＦＡＮＷｅｉＹＵＸｉａｏｆｅｎＸＩＬｉｎ （ ， 犛犮犺狅狅犾狅 犐狀狊狋狉狌犿犲狀狋犛犮犻犲狀犮犲犪狀犱犗 狋狅犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮犈狀犻狀犲犲狉犻狀 犳 狆 犵 犵 ， ， ） 犎犲犲犻犝狀犻狏犲狉狊犻狋 狅 犜犲犮犺狀狅犾狅 犎犲犲犻２３０００９犆犺犻狀犪 犳 狔 犳 犵狔 犳 ： 犃犫狊狋狉犪犮狋Ａｃｏｎｔｒｏｌｌｉｎ ｍｅａｎｓｏｆＰＺＴｄｒｉｖｉｎ ｓｓｔｅｍｗａｓｉｎｔｒｏｄｕｃｅｄｉｎｄｅｔａｉｌ．Ｂ ａ ｌｉｃａｔｉｏｎｏｆＤＬＬ ｇ ｇ ｙ ｙ ｐｐ ， ｌｉｂｒａｒ ｆｏｒＰＺＴ ｏｗｅｒｓｕ ｌａｎｄＴｉｍｅｒｃｏｎｔｒｏｌｏｆＶＢ ｔｈｅｒｅａｌｔｉｍｅ ｒｏｒａｍｍａｂｌｅｏｕｔｕｔｏｆｃｏｎｔｒｏｌ ｙ ｐ ｐｐｙ ｐ ｇ ｐ