[工作总结]90AProber保养规范.pdfVIP

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2018-03-28 发布于浙江
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[工作总结]90AProber保养规范

UF190/UF200 定期保养规范 ACCRETECH PROBER 保养规范 0 前言：为了确保 ACCRETECH PROBER 的精准度与正常运作，请依据本保养规范，定时完成所需之定期保养程序，以使 ACCRETECH PROBER 维持在稳定与最佳的生产状态。 ACCRETECH PROBER 所需进行保养与检查的项目，依据各组成元件的不同特性，共可区分为三大项。 1. 每月保养: 每日保养的目的，主要在于确保 ACCRETECH PROBER 在日常的生产过程中，当有任何的异状产生时，可以及时发现问题，尽早完成检修，维持机台的生产效能。此项保养应依据本保养指南每日月实施。 2. 每半年保养: 每半年保养的目的，主要在于维持 ACCRETECH PROBER 各元件的正常运作，以确保 PROBER 于生产时各元件均能发挥其所应具有的功能。此项保养应依据本指南每半年按时实施。 3. 每年保养: 每年保养的目的，主要在于检测与调整 ACCRETECH PROBER 的机台精准度，以确保 PROBER 于生产过程中，精准度与可靠性皆能维持在设定的标准内。此项保养应依本指南每年按时实施。 ACCRETECH PROBER 每月保养规范每月保养纪录与检查项目: ACCRETECH PROBER 每月保养纪录 PROBER 型号: PROBER 序号: 负责工程师: 保养日期: 1.外部供给值检查项目检查标准检查结果量测值检查项检查标准检查结果量测值目电源供给 110V/220V OK/NG 真空供 40cmHg OK/NG 值：给值: 空气供给值: 4kgf OK/NG 2. 检查项目编号项目检查标准检查结果量测值 1－1 清洁 CHUCK 表面与尽可能维持此部位的清净度 OK/NG PROBER 内部空间 1－2 PROBER 完成机械归确认所有机械归零动作均正常 OK/NG 零动作无误 1－3 键盘功能确认键盘功能正常 OK/NG 1－4 荧幕功能确认荧幕显示功能正常 OK/NG 1－5 列表机功能确认列表机功能正常 OK/NG 1－6 WAFER 传输功能确认 WAFER 传输功能正常 OK/NG 1－7 MARK 功能确认 MARKER 功能正常 OK/NG 1－1 清洁 CHUCK 表面与 CHUCK 附近的作业区域当有必要对 CHUCK 进行清洁工作时，请格外注意以免刮伤 CHUCK 表面。