磁力弹簧式压电共振型气泵的设计-光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学精密工程 棽棸 暋 椃 暋 斨旓旍棶棽棸暋斘旓棶椃 暋暋暋暋暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋暋暋 暋暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻棽 椃 暋 暋 暋 斒旛旍棶棽棸棻棽 文章编号 棬 棭 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻棽棸椃灢棻椀椃棾灢棸椃 磁力弹簧式压电共振型气泵的设计 棳 棻 棻 棻棽 棻灣 棻 棳 棳 棳 棳 谢海峰 吴 越 接 勐 杨志刚