第3章节电容式传感器幻灯片.ppt

二、实验原理 电容式传感器有多种型式，本仪器中是差动变面积式。传感器由两组定片和一组动片组成。当安装于振动台上的动片上、下改变位置，与两组静片之间的重叠面积发生变化，极间电容也发生相应变化，成为差动电容。如将上层定片与动片形成的电容定为Cx1，下层定片与动片形成的电容定为Cx2，当将Cx1和Cx2桥路作为相邻两臂时，桥路的输出电压与电容量的变化有关，即与振动台的位移有关。 三、实验所需部件 电容式传感器、电容变换器、差动放大器、低通滤波器、低频振荡器、测微仪。 四、实验步骤 （1）差动放大器调零。 （2）按图3-18接线，电容变换器和差动大器的增益适中。 图3-18 （3）装上测微仪，带动振动台位移，使电容动片位于两静片中，此时差动放大器输出应为零。 （4）以此为起点，向上和向下位移动片，每次0.5mm，直至动片全部重合为止。记录数据于表3-2中，并作出V—X曲线，求得灵敏度。 X/mm 2.0 1.5 1.0 0.5 0 ?0.5 ?1.0 ?1.5 2.0 V/V 表3-2 数据记录表 （5）低频振荡器输出接“激振I”端，移开测微头，适当调节频率和振幅，使差放输出波形较大但不失真，用示波器观察波形。 五、注意事项 （1）电容动片与两定片之间的距离须相等，必要时可稍做调整。位移和振动时均不可有擦片现象，否则会造成输出信号突变。 （2）如果差动放大器输出端用示波器观察到波形中有杂波，请将电容变换器增益进一步减小。 （3）由于悬臂梁弹性恢复滞后，虽然测微仪回到初始刻度，但差放输出电压并不回零，此时可反方向旋动测微仪，使输出电压过零后再回到初始位置，反复几次，差放电压即到零，然后进行负方向实验。 3.2.4 环形二极管充放电法 基本原理是以一高频方波为信号源，通过一环形二极管电桥，对被测电容进行充放电，环形二极管电桥输出一个与被测电容成正比的微安级电流。 当输入的方波由E1跃变到E2时，电容Cx、Cd两端的电压皆由E1充电到E2。对电容Cx充电的电流，如图3-12中i1所示的方向，对Cd充电的电流如i3所示方向。在充电过程中（T1这段时间），VD2、VD4以一直处于截止状态。在T1这段时间内由A点向C点流动的电荷量为q1=Cd(E2?E1)。 当输入的方波由E2返回到E1时，Cx和Cd放电，它们两端的电压由E2下降到E1，放电电流所经过的路径分别为i2、i4所示的方向。在放电过程中（T2时间内），VD1、VD3截止。在T2这段时间内由C点向A点流过的电荷量为q2=Cx(E2?E1)。 设方波的频率f=1/T0（即每秒钟要发生的充放电过程的次数），则由C点流向A点的平均电流为I2=Cxf(E2?E1)，而从A点流向C点的平均电流为I3=Cdf(E2?E1)，流过此支路的瞬时电流的平均值为 令Cx的初始值为C0，ΔCx为Cx的增量，则Cx=C0+ΔCx，调节Cd=C0，则 I正比于ΔCx。 3.2.5 脉冲宽度调制电路 图中Cx1、Cx2为差动式电容传感器，当双稳态触发器处于某一状态，Q= 1，= 0，A点高电位通过R1对Cx1充电，时间常数?1= R1Cx1，直至F点电位高于Ur，比较器A1输出正跳变信号。 与此同时，因=0，电容器Cx2上已充电流通过VD2迅速放电至零电平。A1正跳变信号激励触发器翻转，使Q=0，=1，于是A点为低电位，Cx1通过VD1迅速放电，而B点高电位通过R2对Cx2充电，时间常数为?2=R2Cx2，直至G点电位高于参比电位Ur。比较器A2输出正跳变信号，使触发器发生翻转。 ①当差动电容器Cx1=Cx2时， A、B两点间的平均电压值为零。 ②当差动电容Cx1≠Cx2，且Cx1＞Cx2，则?1=R1Cx1＞?2=R2Cx2。此时UA、UB脉冲宽度不再相等，一个周期（T1+T2）时间内的平均电压值不为零。此UAB电压经低通滤波器滤波后，可获得Uo输出为 图3-14 脉冲宽度调制电路电压波形 将 代入上式得 若是平行板电容有： 在变面积电容传感器则有： 由此可见，差动脉宽调制电路适用于变极板距离以及变面积差动式电容传感器。 3.3 电容式传感器的应用 3.3.1 电容式加速度传感器 1、组成 它有两个固定极板（与壳体绝缘），中间有一用弹簧片支撑的质量块，此质量块的两个端面经过磨平抛光后作为可动极板（