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微反器用於金奈米微粒合成之研施建富林宏展李明承郭文化大科技系南科技大科技系摘要奈米微粒之研目前奈米科技重要的一其中金奈米微粒由於其大小光性表面化性及毒等特性故被泛用於光科技生方面的研究微反器具有生物相容性高可控性佳可批次化生及易於等期能改善合成法之粒分不均控制不精等成反器控制精及金奈米微粒可批次生等目的因此本研究特以微中之程技研微反器由流值分析的模果得知研究中所之微反流道流率在的有佳的混合效果於矽模的刻程中藉由添加界面活性於非等向性式刻之技改善使用一添加的缺使得刻底切比率降低至刻粗糙度到成功刻出

PDMS微反應器應用於金奈米微粒合成之研製 楊啟榮1、施建富1、林宏展1、李明承1、郭文化2 1臺灣師範大學機電科技學系, 2東南科技大學機電科技學系 摘要 奈米微粒(nanoparticles)之研製為目前奈米科技重要的一環,其中金奈米微粒由於其大小、光學性質、表面化學性質及無毒等特性,故被廣泛應用於光電科技、生醫檢測方面的研究。PDMS微反應器具有生物相容性高、可控性佳、可批次化生產及易於觀測等優點,預期將能改善傳統合成法之粒徑分佈不均、控制不精確等問題,達成反應器控制精確及金奈米微粒可批次生產等目的。因此本研究特以微機電中之SIGA製程技術,研製PDMS微反應器(microreacto

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