微电子机械系统技术基础MOEMS幻灯片.pptVIP

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2018-03-29 发布于广东
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微电子机械系统技术基础MOEMS幻灯片.ppt

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MOEMS 哈工大MEMS中心陈伟平（chenwp@ chenwp66@163.com) Foundation of MEMS Tech. (6) MOEMS OPTICAL SWITCHS(EO,TO): WDM, DMD, GLV, MARS STM, AFM DMD SENSORS 1. SWITCH CHIP The 16 micro mirrors can move independently The micro mirrors are driven by electrostatic force PML(Planer Micro Lens array) is used for focusing the optical beam Optical Simulation Schematic of Chip Structure Fabrication Process 2. MEMS Application: Displays Digital Micromirror Devices (DMD) were developed by Texas Instruments. These devices are based upon electrically-controlled, tilting micromirrors. Website: DLP = Digital Light Projector These devices have numerous applications: Business Home entertainment Cinema MEMS Application: Displays Two micromirrors: one tilted to “on” position, the other tilted to “off” position. () MEMS Application: Displays Two micromirrors: one tilted to “on” position, the other tilted to “off” position. () () MEMS Application: Displays MEMS Application: Displays () MEMS Application: Displays ()