多晶硅冶金法除磷的研究进展Core.PDFVIP

多晶硅冶金法除磷的研究进展/ 郑淞生等 ·11 · 多晶硅冶金法除磷的研究进展 1 2 1 郑淞生 ,陈　朝 ,罗学涛 ( 1 　厦门大学材料学院材料科学与工程系 ,厦门 36 1005 ;2 　厦门大学物理与机电学院物理学系 ,厦门 36 1005) 摘要 　　磷是多晶硅中的一种主要杂质元素 , 目前国内外采用冶金法除磷的工艺主要包括酸洗除磷 、合金定向 凝固除磷和真空除磷工艺 。其中 ,酸洗除磷工艺可以很有效地去除磷杂质 ,但仍未达到太阳能级多晶硅小于 0 . 1 × - 4 ( ) 10 % 质量分数 的要求 。采用合金定向凝固工艺可以去除 80 %以上的磷杂质 ,但 目前对凝固后硅中残留溶剂金属 - 4 ( ) 的去除方法还有待进一步的研究 。通过真空感应熔炼实验 已将磷含量从 15 ×10 % 质量分数 降低至 0 . 8 × - 5 ( ) 10 % 质量分数 ,并对除磷的热力学条件进行了初步探索 。 关键词 　　多晶硅 　冶金法 　除磷 中图分类号 : TL 24 1. 2 + 2 　　　　　文献标识码 :A Re search Pro gre ss in Pho sp hor u s Removal by Met allur gical Refining Z H EN G Song sheng1 , C H EN Chao2 , L U O Xuet ao 1 ( 1 　Dep art ment of Mat erial s Science and Engineering , College of Mat erial s , Xiamen U niver sit y , Xiamen 36 1005 ;2 　Dep art ment of Phy sics , College of Physics and Mechanical Elect ronic Engineering , Xiamen U niver sit y , Xiamen 36 1005) Abstract 　　Pho sp horu s i s one of t he main imp urities of silicon . The p resent domestic and foreign research p ro gresses on p ho sp horu s removal f rom silicon by met allurgical met hod mainly include acid leaching , alloy unidirectional solidification and vacuum refining p rocesses. Pho sp horu s can be removed effectively by acid leaching but still not a chieving t he t ar get of SO GSi by less t han 0 . 1 ×10 - 4 % (mass) . More t han