平板式静电微执行器的静态-半导体技术.PDFVIP

櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶櫶 ： ｄｏｉ １０３９６９／ ｊｉｓｓｎ１００３３５３ｘ２０１０ｚ１０３３ 平板式静电微执行器的静态 现象 ｐｕｌｌｉｎ 石文尚，方玉明，朱文俊 （南京邮电大学电子科学与工程学院南京， ） ２１０００３ 摘要：基于平板式静电微执行器的模型，分析了其 现象，并且在考虑边缘效应的情况 ｐｕｌｌｉｎ ， ， 。 下即根据考虑电容边缘效应的理论模型推导出平板式静电微执行器的 参数然后用有 ｐｕｌｌｉｎ 限元分析软件 建模，得到其 参数的标准数值，最后实现理论数值和标准数值的比 ＡＮＳＹＳ ｐｕｌｌｉｎ 较得出各种理论模型的精确度 ， 。 关键词：平板式；微执行器； 现象；有限元分析 ｐｕｌｌｉｎ 中图分类号 文献标识码 文章编号 ： ： ： （ ）增刊 ＴＮ７０３ Ａ １００３３５３Ｘ ２０１０ ０１１８０５ ＱｕａｓｉＳｔａｔｉｃ Ｐｕｌｌｉｎ ｏｆ ＰａｒａｌｌｅｌＰｌａｔｅ Ｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃ ＭＥＭＳ Ａｃｔｕａｔｏｒｓ ， ， Ｓｈｉ Ｗｅｎｓｈａｎｇ Ｆａｎｇ Ｙｕｍｉｎｇ Ｚｈｕ Ｗｅｎｊｕｎ （ ， Ｄｅｐａｒｔｍｅｎｔ ｏｆ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ Ｓｃｉｅｎｃｅ ａｎｄ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ Ｎａｎｊｉｎｇ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ ｏｆ Ｐｏｓｔｓ ａｎｄ ， ， ） Ｔｅｌｅｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎｓ Ｎａｎｊｉｎｇ ２１０００３ Ｃｈｉｎａ ： ， Ａｂｓｔｒａｃｔ Ｂａｓｅｄ ｏｎ ｔｈｅ ｍｏｄｅｌ ｏｆ ｐａｒａｌｌｅｌｐｌａｔｅ ｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃ ＭＥＭＳ ａｃｔｕａｔｏｒｓ ａｎｄ ｉｔｓ ｐｕｌｌｉｎ ｐｈｅｎｏｍｅｎｏｎ ｉｓ ａｎａｌｙｚｅｄ． Ａｌｓｏ ｔｈｅ ｐｕｌｌｉｎ ｐａｒａｍｅｔｅｒｓ ｉｓ ｃａｌｃｕｌａｔｅｄ ｉｎ ｔｈｅ ｃａｓｅ ｏｆ ｃｏｎｓｉｄｅｒｉｎｇ ｔｈｅ ｅｄｇｅ ｅｆｆｅｃｔｓ， ａｃｃｏｒｄｉｎｇｔｏ ｔｈｅ ｔｈｅｏｒｅｔｉｃａｌ ｍｏｄｅｌｓ ｗｈｉｃｈ ｉｎｃｌｕｄｅ ｔｈｅ ｅｄｇｅ ｅｆｆｅｃｔｓ． Ａｎｄ ｔｈｅｎ ｔｈｅ ｓｔａｎｄａｒｄ ｖａｌｕｅｓ ｏｆ ｐｕｌｌｉｎ ｐａｒａｍｅｔｅｒｓ ｉｓ ｏｂｔａｉｎｅｄ ｂｙ ｔｈｅ ｆｉｎｉｔｅ ｅｌｅｍｅｎｔ