接触式表面轮廓仪于导光板v形微结构特征尺寸之量测-关于nkfust.pdfVIP

2009 海峽 兩岸現代 精度 理論 及 應用 學術研 討 會 中 華民國 九 十八 年 8/25-8/26 ，桃園 2009 海峽 兩岸現代 精度 理論 及 應用 學術研 討 會 中 華民國 九 十八 年 8/25-8/26 ，桃園 接觸式表面輪廓儀於導光板 V 形微結構特徵尺寸之量測 * 余志成 黃明賢 陳宗男 國立高雄第一科技大學機械與自動化工程系 摘要 微 V形微結構常應用於光學元件如液晶平面顯示器的導光板，隨著精微製造技術的應用， V形微結構的尺寸降至微米。如何簡易的檢測模具與成形微結構的尺寸，包括特徵高度、寬 度與角度等，而不受限於結構材料與透光性，便成為一項重要的課題。本研究探討接觸式表 面輪廓儀用於下凹微 V形結構量測的限制與對策，首先提出以矽基非等向濕蝕刻，製作探針 半徑的校正治具，再推導掃瞄輪廓與實際V結構特徵參數的轉換公式。本研究以 KLA-Tencor Alpha-