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第章电能谱仪构造第4章电子能谱仪构造
4
1.
2. ((UHV))
3.
44.
5.
66.
7.
4.14.1
(Instrumentation)(Instrumentation)
4.24.2(UHV)(UHV)
510-10 mbar10-8 ~ 10-10
mbar
ESCALAB 250
110-10 mbar
MuNi77Fe16Cu5Cr2Mo2
4.2.14.2.1
10-6mbar1
00.1%1%
(UHV)
p = 10-8 – 10-11 torr. = ~104 – 107 m.
t = ~102 – 105 s
WhyWhy UHVUHV forfor SurfaceSurface Analysis?Analysis?
TorrTorr RemoveRemove adsorbed gases fromadsorbed gases from
101010102222
the sample.the sample.
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