平面变线距光栅-光子学报.PDF

第 卷第 期 光 子 学 报 ’! ’# ! # $% (% 年 月 )* # +,-+ ./0-0(1,+ 21(1,+ 234536738)* 9999999999999999999999999999999999999999999999999999999999999999 平面变线距光栅 的基本原理 : $;2 与线距修正系数的检测= 王 吉力 付绍军 朱向冰 洪义麟 徐向东 国家同步辐射实验室 合肥 安徽 : )!)# @ C H L L ? 6ABDB3EAFG IJ5K3MI KF 摘 要 变线距光栅是一种自消部分象差的光学元件 本文提出了用激光束检测变线距系数的 ’ 理论模型 计算表明变线距光栅的衍射波与平面波的干涉条纹可以用于检测变线距系数 ’ ’ 关键词 变线距光栅 光栅检测 衍射波面 N N O 引言 光学光栅是光栅单色器中关键的光学元件 程中发现其不理想 也无法向公司指出具体的缺 ’ 光栅的检测是制作单色器的重要一环 变线距光 陷 ’ ’ 栅在刻划时 光栅的线距要按照一定的要求变化 通常 光栅的检测包括光栅性能及其影响光 ’ 就光栅的发展历史看 尽管它的理论研究早在 栅性能的质量参量的测量 光栅的性能指标有 ) ’ C 世纪初便已由 等提出 并在 年代重 光栅的分辨率 衍射效率 杂散光和鬼线 影响性 ’ P V V + ,%8FI * 又提出 但由于制作的相对困难 直到 年代 能的主要参量是衍射波面象差和光栅的槽形 对 Q ’ ) 初 才制作出来 而真正较广泛的使用 是在实 于实用的变线距光栅 通常线距的变化取到 的 ’ W ! 现了全息干涉法制作变线距光栅后 变线距光 二次项 的意义见下文 即