使用三窄频光之创新型抗振式Mirau相位漂移干涉-工程科技推展中心.PDFVIP

行 精 類 行 年年 行 龍 葉利 參理 理 年 都 了 量都 利昻精 精 藍 藍 行 量 行政院國家科學委員會專題研究計畫成果報告 使用三窄頻光之創新型抗振式 Mirau相位漂移干涉術研究 Research on innovative phase-shifting interferometry using three narrow-band light beams 計畫編號： NSC 100-2221-E-262-008 執行期限：100 年 8月 1日至 101 年7月 31日 主持人：葉勝利 龍華科技大學機械工程系 一、中文摘要 傳統之 Mirau 干涉術通常都怕振動的干擾，而為了使用PSI和 VSI量測模式也都必須利用昻貴的 精密定位系統控制 PZT做 1nm 等級之精密位移。本研究將根據萃取白光光源中的窄頻藍光成分形成 之干涉條紋的自動漂移現象做光程差補償，以抵抗振動對 Mirau 干涉術的干擾即抗振( ) ；又根據窄頻 藍光形成的干涉條紋的被動漂移現象可以做等光程差相位漂移或位移，以執行 PSI和 VSI量測模式。 關鍵詞： Mirau 干涉術、抗振、相位漂移 Abstract Conventional Mirau interferometry is afraid of vibration disturbance. For deriving precise displacements of PZTs with the 1-nm order, expensive precise positing systems are needed when the PSI and VSI measurement modes are executed. This research will do optical path compensation to resist the disturbance of vibration according to the active shifting phenomena of the interference fringes formed by the blue component of a white light source. Moreover, phase shifting or displacements created by uniform optical path differences can be done according to the passive shifting phe