再结合谱线能量的位移和峰形的变化.PDFVIP

第4章、谱图的一般特征 1. XPS谱图的初级结构 2. XPS谱图的次级结构 4.0、XPS谱图的形式  XPS谱图的采集：  XPS谱图是通过用X射线照射样品材料的同时测量从 材料表面出射的电子的能量和数目而得到的。  XPS谱图的形式：  光电子信号强度I 随能量的变化关系(I ~ E)； B  数据采集模式：  全扫描谱(Survey scan)：扫描能量范围宽 （0∼1100eV），灵敏度高(分辨力低)，元素鉴别。  高分辨谱(Detail scan)：扫描能量范围窄(20eV左 右)，分辨力高，主要用于元素化学态分析。 4.0、XPS谱图的形式 在XPS谱图中可观察到多种类型的谱峰。  一部分是基本的并总可观察到—初级结构  另一些依赖于样品的物理和化学性质—次级结 构 光电发射过程常被设想为三步（三步模型）  光吸收和电离（初态效应）；  原子响应和光电子发射（终态效应）；  电子向表面输运并逸出（外禀损失）。 所有这些过程都对XPS谱的结构有贡献。 4.1、XPS谱图的初级结构 1.光电子谱峰 2.俄歇电子谱峰 3.价带谱 4.1.1 、光电子谱峰(photoelectron lines)  由于X射线激发源的光子能量较高，可以同时激发出多个 原子轨道的光电子，因此在XPS谱图上会出现多组谱峰。 由于大部分元素都可以激发出多组光电子峰，因此可以利 用这些峰排除能量相近峰的干扰，非常有利于元素的定性 标定。  最强的光电子线是谱图中强度最大、峰宽最小、对称性最 好的谱峰，称为XPS的主谱线。每一种元素都有自己的具 有表征作用的光电子线。它是元素定性分析的主要依据。  光电子峰的标记:以光电子发射的元素和轨道来标记，如 C1s，Ag3d5/2等  此外，由于相近原子序数的元素激发出的光电子的结合能 有较大的差异，因此相邻元素间的干扰作用很小。 (1) 光电子谱线特征  峰位置(结合能)。与元素及其能级轨道和化学态有关。  峰强度。与元素在表面的浓度和原子灵敏度因子成正比。  对称性。金属中的峰不对称性是由金属E 附近小能量电 F 子-空穴激发引起，即价带电子向导带未占据态跃迁。 不对称度正比于费米能级附近的电子态密度。  峰宽(FWHM)光电子线的谱线宽度来自于样品元素本 质信号的自然宽度、X射线源的自然线宽、仪器参数以 及样品自身状况的宽化因素等四个方面的贡献。 一般高分辨主峰峰宽值在0.3～1.7 eV之间。 (2)非弹性本底  XPS谱显示出一特征的阶梯状本底，光电发射峰 的高结合能端本底总是比低结合能端的高。这 是由于体相深处发生的非弹性散射过程（外禀 损失）造成的。 平均来说，只有靠近表面的 电子才能无能量损失地逸出， 分布在表面中较深处的电子 将损失能量并以减小的动能 或增大的结合能的面貌出现， 在表面下非常深的电子将损 失所有能量而不能逸出。 元素分布深度估计  Tougaard利用元素光电子主峰与其背景比值变化研究元素 不同类型的深度分布。  D = A / B 0 p  其中A 为元素主峰面积，B为背景抬升高度(取主峰高结合 p 能端30eV处)。  均相过渡金属的D 是一个普适常数，与均相材料中元素种 0 类、浓度、峰形、主峰能量和金属种类等因素无关。其理 论值为25.2eV ，实验值23.0eV。