《第三章电感式传感器》.ppt

△特点： 脉冲输出---数字量，计数器 抗干扰---稳定，可靠； 可测较大位移---定尺三重绕组可达4m, 带型可达3m。 无摩擦---绕组间隙，寿命长，定滑尺之 间应保持在0.25±0.05mm 工艺好---平面绕组，易于接长，安装简 单，维护方便，与光栅传感器相 比，抗干扰能力强，对环境要求 低，机械结构简单。 △应用：测量线位移，测量角位移 * 第三章 电感式传感器 一、自感式传感器 1、变气隙型自感传感器 工作原理：磁路的磁阻变化引起传感器线圈电感变化（自感、互感、电涡流） 应用领域：位移、振动、力、应变、流量、加速度等物理量 可变气隙的铁心线圈：线圈，铁心，衔铁 被测量（位移） 气隙 磁路磁阻 线圈电感 特 点：结构简单，工作可靠，寿命长，性能良好，适于恶劣环境使用 存在交流零位信号（零残电压），不适于高频测试 等效电路：L---线圈电感， Rc—线圈铜耗电阻， Re—铁心涡耗电阻， Rh(f)—磁滞损耗电阻 C—线圈寄生电容 保持气隙lδ不变 传感器线圈电感量：气隙较小，认为气隙磁场均匀，忽略磁路铁损： μ0---真空磁导率，μ0 =4π×10-7(H/m) W---线圈匝数； S ---磁通截面积； l ----磁路长度； lδ---气隙总长； μr---铁心和衔铁的相对磁导率； 对同一传感器线圈：W、μ0、S、l、μr均为常数，常数 K =μ0W2S 线圈电感： 电感的变化只与气隙长度有关，非线性 输出灵敏度： 气隙：增大灵敏度 --- 减小气隙 --- 受到工艺和结构的限制。 常取气隙尺寸（即测量范围）为 δ=lδ/2 = 0.1~0.5mm。 灵敏度：负号表示灵敏度随着气隙的增加而减小 2、变面积型自感传感器 衔铁沿水平方向移动 磁通截面积S变化 电感变化 传感器线圈的电感：忽略气隙磁通边缘效应 线性 输出灵敏度： 气隙：增大灵敏度 --- 减小气隙 --- 受到工艺和结构的限制、边缘效应 常取气隙尺寸为 δ=lδ/2 = 0.1~0.5mm（与变气隙型相同） 负号表示灵敏度随着气隙的增加而减小 3、螺管型自感传感器 传感器线圈的电感： g-比磁导 传感器的输出灵敏度： 特点：①由于气隙大，磁路磁阻大，故灵敏度较前两者低。 提高衔铁与套筒的直径比与长度比（结构与非线性限制） 增加砸数（受到稳定性限制） ②若主磁通不变以及线圈绕阻排列均匀，可得到较大的线性范围 衔铁深度 线圈漏磁磁阻 线圈电感 4、差动式自感传感器 单一式自感传感器：由于线圈电流的存在，使衔铁受到单向电磁力的作用， 输出信号易受电源电压和频率波动、温度变化等干扰 传感器输出的非线性限制了使用（变面积型传感器） 不适于精密测量。 差动式：由两个单一形式的结构对称组合，改善其性能， 变气隙型差动传感器 ：输出灵敏度 灵敏度提高了一倍。对电源电压与频率的波动以及温度变化等外界干扰 也有补偿作用，从而提高了传感器的稳定性。 5、自感传感器的测量电路 （1）测量电路组成： （2）测量电桥： 传感器线圈：Z1=r1+j?L1，Z2=r2+j?L2 Z1=Z+ΔZ，Z2=Z-ΔZ 初始状态：r10=r20=r0，L10=L20=L0 外接电阻： R1=R2=R 输出电压： 传感器 测量电桥 放大器 相敏检波 滤波器 振荡器 输出 近似线性 E---振荡器稳幅 极性：方向—相敏检波 若衔铁上移：Z1变大，Z2减小， U正半周：D1、D4导通，D2、D3截止，UCUD，输出负电压 U负半周：D1、D4截止，D2、D3导通，UCUD，输出负电压 隔直---减小直流漂移，高放大倍数，高阻抗 （3）放大器 ：幅值放大，交流放大器， （4）相敏检波电路 ：判断衔铁移动方向 若衔铁下移：Z1减小，Z2增大，