《三氯氢硅小记》.docVIP

问题一 多晶硅生产中，氮气的要求是怎么样的一般分1.2MPa，0.6MPa,0.3MPa 三种，主要用于管道与设备的吹扫，置换，另外对与氯硅烷灭火有很好的效果主要看氧含量和露点，氧含量小于1000ppm,露点-40左右氮气基本就是吹扫和置换作用，另外在硅粉干燥的时候会用到，没有别的太大的用处。如果有氯化氢合成的话，还需高纯氮气再生分子筛了。主要是测N2露点，检测含水量氮气作为保护气。N2 只用来置换??第一次开车时测下氧含量和露点就可以只是属于保护性气体关于多晶硅生产中三氯氢硅的单耗问题单耗=三氯氢硅总用量(KG)/多晶硅总产量(KG)=KGSIHCL3.KGSI 多晶硅用阀门的特点和注意事项存在问题：1、在硅粉的输送中，硅粉由于硬度高的原因 ,球容易被硅粉包裹,频繁开启容易破坏金属密封,导致泄露等问题的出现，一般的球阀使用寿命非常短，据了解采用国内的硬密封球阀，最频繁的情况下一周要更换一次。对耐磨要求是一个方面，主要的是球阀会造成关不上导致高压气体反串！ 2、使用盘阀可以解决问题，但是只有美国EVERLASTING一家公司有，大约半年换一次，价格昂贵，大约20万一台。解决方法： 1、使用高硬度耐磨球阀或最好带有剪切自洁功能的球阀，大多数人认为进口的球阀好，但是国内现在也可以生产，但总体来说在国内多晶硅项目业绩较好的有两、三家Copeland和耐莱斯-詹姆斯博雷、VTI以及上海纽京，基本上能用半年左右。不过现在在三氯氢硅的生产中多还采用的是球阀。 2、目前在有机硅和多晶硅项目中，在操作频繁的位置首推盘阀，其密封面为平面结构，且每开关一次，阀盘自动旋转一个角度，即使磨损也为均匀磨损，相对球阀来说，可靠性要高很多。盘阀以前只有美国的EVERLASTING一个品牌，价格奇高。国内现在有上海富泰斯，结构与EVERLASTING差不多，但是在硬化处理方面做了不少改进，使用寿命大大延长，去年新安江有机硅用的一台到现在还没有出现问题。球阀只有NELES和VTI的业绩还可以，但是基本半年左右就开始要更换，且价格很昂贵。关于盘阀的特点，并不像看上去那么简单，仅仅解决表面硬化是不够的。在多晶硅行业中使用的环境一般都是在300度左右，如何解决好高温环境下阀门的开关顺畅才是难点。国产的盘阀表面硬度是足够的，可是听说有一些地方会出现打不开，关不上的情况。 淋洗塔经常堵我们的淋洗塔经常堵，使用碱液淋洗的，可为何总是堵那？换成新鲜水，就好了啊 ，酸碱中和肯定要堵的??这样成本也低换新鲜水？可每次测得的PH值都是强碱性的，若经常换，觉得太浪费碱液了？用新鲜水喷淋,效果会好一点,且消耗也低,毕竟水比碱液便宜多了碱液洗涤会堵，水洗效果一样！可能堵得更加严重！尾气中的氯硅烷与水反应产生水和物，如碱量大会溶解的！ 淋洗塔喷淋口改大一点啊 还有注意定期清理，采用此工艺 目前好像没什么好的办法塔喷头，淋洗水量检查了没，要按照设计要求排放尾气，控制水量# [4 f v- d m. x另外不知道你们的尾气排放，提纯，干法，都是在一起么，还原和氢化炉的置换尾气都在一起，那堵的几率就会很大，因为置换炉子的时候排尾气容易造成淋洗塔堵塞排污罐（尾气缓冲罐）排污经常性检查，看冷凝液情况，如果比较多那就要好好检查你的尾气管道了/大修的时候整个都换吧，还有就是淋洗塔的周期性定时清7至于水，最好用回用水，否则耗水成本会很高。一般公司的三废处理水的pH都能满足淋洗，中性、弱碱性就可以。不推荐用碱性水，没用过，酸碱中和很危险，而且电腐蚀会很严重，对尾气缓冲罐影响比较大。不过，如果内衬四氟情况会好点，不过没实验不好发言要定期检查喷头，经常用氮气吹扫啊3 B: j1 P4 H0 F喷头，淋洗水量检查了没，要按照设计要求排放尾气，控制水量1另外不知道你们的尾气排放，提纯，干法，都是在一起么，还原和氢化炉的置换尾气都在一起，那堵的几率就会很大，因为置换炉子的时候排尾气容易造成淋洗塔堵塞( \$ t5 v! h/ H7 s7 G/ O G排污罐（尾气缓冲罐）排污经常性检查，看冷凝液情况，如果比较多那就要好好检查你的尾气管道了大修的时候整个都换吧，还有就是淋洗塔的周期性定时清理 v% L m: Y D, A; K9 j; L至于水，最好用回用水，否则耗水成本会很高。一般公司的三废处理水的pH都能满足淋洗，中性、弱碱性就可以。不推荐用碱性水，没用过，酸碱中和很危险，而且电腐蚀会很严重，对尾气缓冲罐影响比较大。不过，如用两套淋洗塔，一用一备，淋洗塔出口改大，出现堵塞及时切换清理。两套淋洗系统可以！如果水洗和碱洗结合，应该更好吧，氢化还原工段等来的氯硅烷，就单纯的水洗，碱洗，气量小还可以，大了肯定是必堵的，即使气量不大，如果尾气质量好，氯硅烷含量多，基本也是会堵的。倒是可以在尾气进来时加个冷却器，但是成