可见光对TFT的性能影响-.pptVIP

主要内容 研究背景及意义 薄 膜 晶 体 管 ( t h i n f i l m t r a n s i s t o r ，T F T ) 在有源矩阵驱动显示器件中发挥了重要作用，一般在平板显示里用作开关器件和驱动器件。 有待改进的方面： 提高色彩饱和度，提高分辨率，降低反应时间，提高长期稳定性。 TFT的稳定性： 光照会造成阈值电压随偏压应力（BiasStress）变化加快，这会造成液晶面板显示混乱，迁移率也会有所变化，影响分辨率。 长期偏压应力使得器件的阈值容易发生漂移，TFT阈值漂移会直接引起像素发光亮度的变化，影响整体显示质量。 研究背景及意义 氧化物TFT的不稳定性 氧化物TFT的偏压不稳定性 偏压不稳定性包括长期栅压偏置应力不稳定性和漏电压应力不稳定性 使得器件的阈值容易发生漂移，迁移率有所下降。 栅偏压不稳定性 R.B.M.Cross,APL,89,263513 (2006),rf磁控溅射制备ZnO TFT在Vgs=-30V-80V黑暗环境下测试了10000秒 氧化物TFT的偏压不稳定性 PLD制备IGZOTFT的偏压稳定性 A,40mTorr大气压，200°退火 B,25mTorr大气压，200°退火 氧化物TFT的偏压不稳定性 RF磁控溅射沉积ZnO-SiO2TFT的偏压不稳定性 氧化物TFT的光照不稳定性 光电效应