带铁磁薄膜悬臂板的磁场微感应器磁弹性特征研究①.pdfVIP

固 体 力 学 学 报 Vol. 21 　No. 4 　　 　　　　　　 　 　　　　　　　　　 　 第21卷 第4期 2000年 12 月 ACTA MECHANICA SOLIDA SINICA December 2000 带铁磁薄膜悬臂板的磁场微感应器 磁弹性特征研究① 周又和 　　何琴淑 　　郑晓静 (兰州大学力学系 ,兰州 ,730000) 摘 　要 　对于在可变形非磁材料悬臂梁式板单表面粘贴可磁化材料薄膜所构成的磁场微 传感器件结构 ,研究了其处在磁场环境中的磁弹性弯曲变形的磁场力学特征. 为此 ,建立了由 有限元方法分析磁场与有限差分法计算挠曲变形相结合来计算其结构在磁场中产生磁弹性变 形的定量分析程序. 在此基础上 ,对于这一微传感结构的算例给出了其结构变形随外加磁场环 境变化的磁场挠度特征关系等定量结果. 结果表明 :微传感器件不仅可以测量出磁场的大小 , 而且给出了测量磁场矢量方向的可能性. 关键词 　铁磁薄膜 ,非磁悬臂板 ,磁场微传感器 ,磁场挠度特征关系 1 　引言 在现代高新科学技术的发展与推动下 , 电磁材料及其结构的电磁力学行为与特征的研 究正日益受到重视. 其中之一是在当前倍受关注的微电机械研究领域中 , 电磁材料被广泛用 来制备微电机械的微传感器与微致动器等. 例如 ,文[1 ]研究了由非磁悬臂板一侧粘贴具有 磁致伸缩薄膜的磁场微传感器的磁场挠曲变形特征. 依照其微传感器件的磁场挠度特征 关系 ,通过测量挠曲变形 ,就可测量出外部磁场的大小. 由于磁致伸缩材料对磁场方向不敏 感 ,这样其微传感器就仅能测出磁场的大小. 本文试图将这一研究推广到粘有可磁化铁磁薄 膜的悬臂梁式板微传感器 ,在测量磁场大小的同时 ,使磁场方向的测量也有可能进行. 在采用文[2～5 ]对铁磁介质磁弹性相互作用由变分原理导出的理论模型后 ,运用层合 板理论和薄板理论[6～8 ] ,对处在外加磁场中带铁磁薄膜的悬臂梁式板的磁弹性弯曲建立了 边值方程. 然后 ,运用有限元法分析磁场与有限差分法计算结构挠曲变形相结合的数值方 法[9～11 ] ,对于其磁力耦合的非线性问题进行了定量数值分析 ,给出了这类微结构磁场传感 器件的弯曲变形随外加磁场的大小与方向的变化规律. 2 　基本方程 2 . 1 　磁场控制方程 对于如图 1 所示的非磁材料悬臂梁式板的磁场微传感器结构 ,在上表面粘附可磁化材 料的薄膜 ,设板长为 a , 宽为 b , 厚为 h . 当其置于一外加静磁场 B0 中, 在不考虑静电场、静 ① ( ) ( ) 国家自然科学基金 批准号 、国家杰出青年科学基金 批准号 资助项目. 收到第 1 稿 收到修改稿. © 1995-2004 Tsinghua Tongfang Optical Disc Co., Ltd. All rights reserved. 　　　　　　　　　　　　　　　　　固体力学学报 　　　　 　　　　　　　　　　　2000 年 第 21 卷 2·84 · 电荷及其电流的影响时, 由静磁学知存在一磁标势 , 使磁场强度矢量表示为 ( ) H = -