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电容传感器电容式传感器概述电容式传感器是将被测非电量的变化
电容传感器 电容式传感器概述??????电容式传感器是将被测非电量的变化转化为电容量的一种传感器。具有结构简单、分辨力高、可非接触测量,并能在高温、辐射和强烈震动等恶劣条件下工作等优点。????? 随着集成电路技术和计算机技术的发展,有利于电容式传感器的扬长避短,是一种很有发展前途的传感器。 基本工作原理??????电容传感器的基本公式 :
??????ε:电容极板间介质的介电常数,ε=ε0·εr,ε0为真空介电常数,εr为极板间介质相对介电常数;
??????A:两平行板所覆盖的面积;d:两平行板之间的距离。
??????üδ、A或ε发生变化时,都会引起电容的变化。
??????ü固定三个参量中的两个,可以做成三种类型的电容传感器:变极距型、变面积型和变介电常数型。
电容式传感器的结构类型
??????变极距(δ)型: (a)、(e) ??????变面积型(A)型: (b)、(c)、(d)、(f)、(g) (h) ??????变介电常数(ε )型: (i)~(l) (1) 变极距型电容传感器
(2) 变面积型电容传感器??????角位移:极板2的轴由被测物体带动而旋转一个角位移θ度时,两极板的遮盖面积A电容量。??????板状线位移:极板2可以左右移动。极板1固定不动。??????筒形:外圆筒不动,内圆筒在外圆筒内作上、下直线运动。
(3) 变介电常数型电容传感器??????因为各种介质的相对介电常数不同,所以在电容器两极板间插入不同介质时,电容器的电容量也就不同。这种传感器可用来测量物位或液位,也可测量位移。
表1 几种介质的相对介电常数
介质名称
相对介电常数εr
介质名称
相对介电常数εr
真空
1
玻璃釉
3~5
空气
略微1
二氧化硅
38
其他气体
1~1.2
云母
5~8
变压器油
2~4
干的纸
2~4
硅油
2~3.5
干的谷物
3~5
聚丙烯
2~2.2
环氧树脂
3~10
聚苯乙烯
2.4~2.6
高频陶瓷
10~160
聚四氟乙烯
2.0
低频陶瓷、压电陶瓷
1000~10000
聚偏二氟乙烯
3~5
纯净的水
80
电容式传感器的应用??????电容式传感器不但广泛用于位移、振动、角度、加速度等机械量的精密测量,而且还逐步地扩大到用于压力、差压、液位、物位或成份含量等方面的测量。
注:拖动滚动条,查看各种应用图片
应用中的注意事项????? (1) 克服寄生电容的影响????? 电容式传感器由于受结构与尺寸的限制,其电容量都很小(pF到几十pF),属于小功率、高阻抗器件,因此极易外界干扰,尤其是受大于它几倍、几十倍的、且具有随机性的电缆寄生电容的干扰,它与传感器电容相并联,严重影响感器的输出特性,甚至会淹没有用信号而不能使用。消灭寄生电容影响,是电容式传感器实用的关键。????? (2) 克服边缘效应的影响????? 实际上当极板厚度h与极距δ之比相对较大时,边缘效应的影响就不能忽略;边缘效应不仅使电容传感器的灵敏度降低,而且产生非线性。????? (3) 克服静电引力的影响????? 电容式传感器两极板间因存在静电场,而作用有静电引力或力矩。静电引力的大小与极板间的工作电压、介电常数、极间距离有关。通常这种静电引力很小,但在采用推动力很小的弹性敏感元件情况下,须考虑因静电引力造成的测量误差。????? (4) 温度影响????? 环境温度的变化将改变电容传感器的输出相对被测输入量的单值函数关系,从而引入温度干扰误差。温度影响主要包括温度对结构尺寸和对介质的影响两方面。 产品图片
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