hydrophiliceliminator对系统加湿影响分析.ppt

一、摘　要 近年來因半導體工業製程的進步，對於製程環境污染的關切已由原有的粒狀固體 污染物變為氣態分子污染物(Airborne Molecular Contaminants, AMCs)，無塵室本身產生的AMC可由風機過濾器(FFU)上的化學過濾器去除，但外氣部份則必需靠MAU化學過濾器或水洗加濕器加以清除。由於化學過濾器價格昂貴，作為良好氣體吸收液且廉價的水便成為去除AMC之最佳方式。但目前水洗加濕器一般僅作為去除塵埃及空調濕度調節，對於空氣AMC去除之能力則有待提升。 由於氣體與吸收液在水洗加濕器中其混合方式直接左右其質傳行為，故本研究將著手建立研究及測試水洗加濕器的設施，並透過具體的實驗如調整霧化粒徑、液氣比、風速及調整水洗液AMC離子濃度來取得各種水洗器構型與AMC去除能力之關係並作成相關設計圖表與公式，可作為日後提供工業界水洗加濕器設計的參考依據。 二、前 言 近年來隨著半導體工業電路製程之線寬不斷的縮小達到奈米的等級，並由於區域建廠密度極高所導致各廠間尾端排氣交叉汙染效應，為避免對製程良率的衝擊，對外氣中氣膠污染物的控制重點，也由原有的粒狀固態污染粒狀固態污染物演變為氣態分子污染物(Airborne Molecular Contaminants, AMCs)，例如SOX、NOX、CO、NH3、HCl及其它的有機污染物都會影響製程良率。去除AMC常見的方式如採用化學過濾及空氣洗滌等方式處理。前者效率雖高但成本價格昂貴，且與外氣處理量成正比。此外，當外氣含微粒濃度高或濕度較大時會減短其使用壽命。 從另一方面來看，無塵室內針對此問題，一般直接在外氣空調箱(MAU)及風機過濾器(FFU)上加裝化學過濾器來因應，但目前仍未被台灣地區電子產業廣為採用；故潔淨室外氣空調箱水洗加濕器變成為目前電子工業去除化學污染物處理的主流。 有關水洗加濕器除氣性能之分析，根據飯嶋和明等人利用水洗加濕器針對NH3、SO2、NO做去除效率的測試與分析，風量9000CMH，氣水比為0.6，其結果SO2去除效率約在94%，NH3去除效率約80%以上。NOx為非常難溶於水的氣體，去除效率約在31%~41%之間。其後飯嶋和明等人提出使用city water應用在噴霧水對於SO2除氣效率較使用DI water為好，風量為1000CMH，氣水比為2.4。發現水質的選用將對於SO2除氣效率產生影響。 本次研究主要探討氣水比、噴管配置與應用Hydrophilic Eliminator時對NH3、SO2去除效率之影響，本次所採用的氣水比為0.06~0.08，較以往業界所採用的水氣比0.2~1來的小，若以較節省的水量而得到相同的除氣效率，可以減少外氣空調箱的運轉成本。 本次實驗入口端引進外氣進行採樣，較接近實際無塵室中AMC的濃度，我們可由實驗分析結果，掌握潔淨室外氣品質的控制方式，降低化學濾網運轉成本，進而增加產業未來之競爭能力。 本研究為探討潔淨室外氣空調箱水洗加濕器，對於氣態分子污染物(AMC) 去除效率以及水洗加濕器對濕度控制設計最佳化應用，以大氣中氨(NH3) 、二氧化硫(SO2)污染物質為主要量測氣體，量測各點狀態，並分析各參數影響機組的效率。首先建立一實驗模型機，採用一組風量10,000 m3/h的全外氣空調箱，如上圖所示。實驗模型機上將有一套可調整的水洗加濕器模組，能夠隨時變換各種形狀及尺寸的噴嘴，並能調整其數量及排列方式，而後安裝各電子感知器Sensor，配合控制器PLC監測各點狀態，即時記錄分析。 本次實驗同時採用4組採樣吸收瓶(Impinger)，對於水洗加濕器前後濃度進行採樣分析工作，本次所使用的分析儀器為離子層析儀(Ion chromatography)，。最後利用各種不同排列方式、等相關參數，得到氣態分子污染物AMC 去除效率之影響。本研究最終目的為預測各種水洗加濕器模式組合與氣態化學污染物去除效率之物理模式的建立。 外氣空調箱相關構造圖示 由上圖中，發現到在氣水比0.08 、雙排逆噴、Hydrophilic-Eliminator (disable)應用時，經過8小時量測分析，得知NH3進風濃度值為19.14ppb，NH3出風濃度值為3.28ppb，去除效率值為82.84%。SO2進風濃度值為1.77ppb，SO2出風濃度值為0.17ppb，去除效率值為90.50%。氣水比0.08、雙排逆噴、Hydrophilic-Eliminator (enable)應用時，經過8小時量測分析，得知NH3進風濃度值為18.96ppb，NH3出風濃度值為2.58ppb，去除效率值為86.40%。SO2進風濃度值為1.66ppb，SO2出風濃度值為0.09ppb，去除效率值為94.79%。 所以在經過8小時量測分析後，可以