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硅块检验规程JY014
目的
为加强生产过程中对硅块质量的控制与管理,明确硅块质量要求,特制定本规程。
范围
本文件规定了硅块检验操作时使用的设备、材料及检验的标准等;
本文件适用于生产、检验人员对硅块检验的操作控制。
设备、工模具、材料
少子寿命测试仪、四探针电阻率测试仪、导电类型测试仪、红外光谱仪;钢尺、卷尺、游标卡尺、角度尺、记号笔;硅块等。
内容
4.1 检验流程
编制: 校对: 审核: 标准化: 批准: 发送部门 份 数
4.2 检查项目、标准及抽检方案(见下图及表1)
图一
表1
序号 检验项目 抽样方案 检查工具 检验标准 1 外观 全检 目测 无硬伤、无裂纹、无空洞、无凸起、无断棱、无缺角 2 物理尺寸 全检 钢尺、卷尺、游标卡尺、角度尺 边长A=(156±0.5)mm
倒角长度B=(1.0±0.5)mm
倒角斜边C为1mm至2.14mm之间
垂直度为90°±1° 3 电阻率 抽检 四探针电阻率测试仪 0.5Ω.cm ~ 6Ω.cm 5 平均少子寿命 抽检 少子寿命测试仪 ≥3us
4.2.1抽检方案:
按批次检验(一个硅锭为一个批次),硅锭上按英文字母A~Y编号,如图二;硅锭每个面的编号如图三所示。
A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y
图二 图三
4.2.2 电阻率抽检方案
检验对角线上编号为A、G、M、S、Y的硅块第2、3面的电阻率。
4.2.3 少子寿命抽检方案
检验编号为A、C、I、M、R硅块的第3面的少子寿命。
4.3 判定
对整根硅块进行检测后,若所有的项目都满足要求,则判定整个硅块符合要求;
检测时,如发现硅块外观存在硬伤、裂纹、空洞、凸起、断棱、倒角不符(只检验倒角斜边的大小)等不良现象,则在该段明确标识,并返工或报废,返工后的硅块需重新检查合格后方能进入下一道工序;
在用红外光谱检测内部缺陷时,若发现有贯穿裂纹,则将该硅块做回炉处理;若发现硅块中有大面积阴影,则标记清楚,贴上待定标签,当累积到6块或者8块时,集中进行处理;若发现硅块中只有局部阴影(阴影总面积小于50cm2),则标记清楚阴影的位置及大小,该硅块按正常程序进入下道工序;
检测中,若发现硅块平均少子寿命小于3us,则将该硅块做回炉处理;检测时,少子寿命按头部1us,底部0.8μs进行划线;
检测时,若发现硅块部分区段出现N型或电阻率不在标准范围之内,则在该段明确标识,并集中回炉处理。
5 记录
《硅块检验记录表》
6 更改记录
版次 条款 更改内容说明 更改日期 更改人
硅片有限公司 文件编号 TNG.J JY.014-2009 版 次 A 硅块检验规程 生效日期 2009年02月10日
第4页 共4页
3
2
1
A
4
抽检
全检
平均少子寿命
内部缺陷
电阻率检测
外观、尺寸检测
硅锭破方
抽检
全检
NG
NG
NG
NG
返修或按不合格品控制程序进行处理
回炉
待定,报废或集中一定数量后切割
回炉
进入下道工序
硅块倒角
Ok
Ok
C
Ok
外观、尺寸检测
Ok
返修或按不合格品控制程序进行处理
NG
全检
Ok
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