CMOS技术知识.ppt

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2018-04-15 发布于天津
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第1章 MOSFET基础1.5 CMOS技术 ;1.5 CMOS技术什么是CMOS？;1.5 CMOS技术 CMOS的工艺类型;1.5 CMOS技术 CMOS反相器;门电路版图——3. CMOS与非门 ;门电路版图——4. CMOS或非门 ;NOR3/NAND3;NAND4;3.7 CMOS电路的闩锁效应;检测方法;发生闩锁的图片;抑制办法 ;专用集成电路设计 ASIC DESIGN;本次课内容;以倒相器为例;CMOS工艺流程;CMOS工艺流程;CMOS工艺流程;CMOS工艺流程;CMOS工艺流程;CMOS工艺流程;CMOS工艺流程;CMOS工艺流程;CMOS工艺流程;CMOS工艺流程;CMOS工艺流程;CMOS工艺流程;CMOS工艺流程;CMOS工艺流程;CMOS工艺流程;CMOS工艺流程;CMOS反相器图解;设计图层与制版图层的关系;10张版叠加;分层图;分层图;分层图;分层图;分层图;分层图;分层图;分层图;分层图;分层图;Pad metal con poly版叠加;P+ N+ island 版叠加;Pwell rpwell ncf 版叠加;成品率驱动的光刻校正技术 ;a待矫正目标图形 b矫正后成像图形 c矫正后版图图形 ewrad与文献算法矫正后成像图形比较;新世纪的半导体光刻技术集锦 ;生产线简介——硅片 ( Wafer );生产线简介——光刻掩膜版 ( Mask );生产线简介——成品 ( Wafer Dice );生产线简介——硅片生產車間;生产线简介——更衣室 ( Changing Room );生产线简介——光刻車間 ( 一 );生产线简介——光刻車間 ( 二 );生产线简介——投影光刻機 Projection Aligner;生产线简介——步進光刻機 Stepper Aligner ;生产线简介——擴散及氧化爐管;生产线简介——清洗台 ( Clean Station );生产线简介——塗膠機 ( Coater );生产线简介——離子注入機 ( Ion Implanter );生产线简介——濺射台 ( Sputter );生产线简介——乾法刻蝕機 ( Dry Etcher );生产线简介——測試生產車間 ( 一 );生产线简介——測試生產車間 ( 二 );END