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影像量测仪二维尺寸校正方法
(AOI) TFT
PCB
21
1 Ultra QV404
X Y
(Back Lighting)
2
400 mm 400 mm0.01 m5
6 30 CCD 1680 12800.18 m
0.03 m
2650 mm5 mm
8 x 10 -8 / 1.15 m99086HS
0.2 m(k=2)[1]
1 Ultra QV404 2
1
ISO230-1[2] 6 3 Z
(X )(Y )(Pitch error)
(Yaw error)(Roll error) X Y
(Cartesian coordinate system)[3]1
3 6 (ISO230-1)
1 21
X Y Z
(x) (y) (z)
x y z
(x) (y) (z)
y x x
(x) (y) (z)
z z y
(x) (y) (z)
x y z
(x) (y) (z)
y z x
(x) (y) (z)
z
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