热沉三明治扩展半导体膜激光器的波长.pdfVIP

封面故事 Cover Story 新型激光器 热沉三明治扩展半导体膜激光器的波长 通过在金刚石或SiC热沉之间夹入量子阱或点状膜，能够最大程度地冷却激 光介质，消除了对反射镜的需求，扩展了新一代半导体激光器的波长性能。 文/Hermann Kahle，Cherry May Mateo，Roman Bek，Michal Jetter，Uwe Brauch 导体碟片激光器的输出功 重依赖于材料系统，其输出功率或多 半率最终受限于热沉消散余 或少地受到限制。原因包括稍高的透 热的能力。通过对夹在金刚 明度阈值、更高的热负荷（由于间隔 石或SiC 热沉材料之间的膜中包含量 泵浦光子比激射光子具有更高的能 子阱（QW）或量子点（QD）有源激 量）、更大的损耗增加（温度升高所 光介质，能够最大程度地冷却激光介 致），以及具有大量交替层的DBR （由 质，当利用532nm 泵浦时，能够实现 于折射率的低对比度形成），从而构 ~10 mm 657nm 波长处0.6W 的衍射极限输出。 成较高的热障。 除了这个初步的演示，我们的团 图1：图中显示将半导体膜胶合到硅载体晶片上。 一般来说，依靠小泵浦点（光束 队还预期：如果能够直接泵浦量子阱 实际上，对于只有几纳米厚的量 直径1mm ）与铜或金刚石散热器相 来减少热负荷，则能进一步提升性能。 子阱或量子点层的碟片状增益材料而 结合，能产生更有效率的三维热流。 该半导体膜激光器的对称透射三明治 言，半导体应该是更好的选择，半导 在给定的热负荷密度下，这将降低有 结构，使热效应对激光谐振腔和光束 体外延是包含量子阱或量子点层的有 源层的温度，但是会限制输出功率， 质量的影响最小化，因此无需分布式 源区域和高反射DBR 镜的优选生产 因为泵浦点和激光模式面积小。 布拉格反射镜（DBR ），可以扩展材 方法。 在DBR 是主要问题的情况下， 料组成和波长的可能范围。 相比于Yb ：YAG ，半导体碟片激 采用与有源区直接接触的腔内热沉， 光器在设计上的另一个优点是：量子 允许热流绕过DBR 。通过这种方式， 膜的设计 阱之间较厚的间隔层可以方便地用作 发射红光的磷化铟镓（GaInP ）碟片 碟片激光器实现了具有优良甚至 泵浦辐射的吸收体，从而不需要固体 优异光束质量的千瓦级输出功率的固 碟片激光器的多程光学元件。[2] 由于 体激光器，光学效率优于50％，尽管 低最佳输出耦合和强力增强的循环功 通常优选的镱钇铝石榴石（Yb ：YAG ） 率，碟片概念通常允许在腔内可以实 碟片具有相对高的透明度。[1] 这主要 现非常有效的二次谐波产生（SHG ）。 归功于通过与热沉直接接触的后端高 这与使用不同材料组成的半导体可得 反射率（HR ）镜，以及主要与谐振 到的大范围基频波长相结合，会更为 器轴线共线的热流，实现了优化的冷 有趣。[3] 却几何结构。 不幸的是，半导体碟片激光器严 图2 ：图中显示具有金刚石膜三明治结构的样品架。 激光世界 Laser Focus World China Sep/ Oct 2017 11 Cover Story 封面故事 激光器的输出功率，可以提高到瓦级