《传感器技术与应用》第4章.pptxVIP

第4章 电感式与电容式传感器的应用;;电感式传感器的优点 ① 结构简单、可靠 ② 分辨率高 机械位移0.1μm，甚至更小；角位移0.1角秒。 输出信号强，电压灵敏度可达数百mV/mm 。 ③ 重复性好，线性度优良 在几十μm到数百mm的位移范围内，输出特性的线性度较好，且比较稳定。 ④ 能实现远距离传输、记录、显示和控制;§ 4.1 基于电感式传感器的位移测量设计;一、结构及工作原理; ;变磁阻式传感器即自感式电感传感器的基本类型：;2.变截面式自感传感器输出特性; ;3.变间隙式自感传感器输出特性; ; ; ;传感器的两线圈作为电桥的两相邻桥臂Z1和Z2，另两个相邻桥臂为纯电阻R。设Z是衔铁在中间位置时单个线圈的复阻抗，ΔZ1、ΔZ2分别是衔铁偏离中心位置时两线圈阻抗的变化量，则 Z1=Z+ΔZ Z2=Z-ΔZ;电桥输出电压为;曲线1、2为两线圈各自电感特性； 曲线3为两线圈差接时的电感特性； 曲线4为差接后电桥输出电压与衔铁位移的特性曲线。;变压器式交流电桥测量电路，电桥两桥臂分别为传感器两线圈的阻抗，另外两桥臂分别为电源变压器的两次级线圈，其阻抗为次级线圈总阻抗的一半。;当传感器衔铁上移时，Z1=Z+ΔZ，Z2=Z-ΔZ，若线圈的Q值很高，损耗电阻可忽略，则桥路输出电压为 ;两类谐振式测量电路： 谐振式调幅电路；谐振式调频电路; ; ; ; ; ; ; ; ; ; ; ; ; ; ; ; ;二、测量电路; ; ; ;一、结构及工作原理; ;二、等效电路; ;三、电涡流式传感器测量电路; ;§ 4.1 基于电感式传感器的位移测量设计;§ 4.1 基于电感式传感器的位移测量设计;§ 4.1 基于电感式传感器的位移测量设计;§ 4.1 基于电感式传感器的位移测量设计;§ 4.1 基于电感式传感器的位移测量设计;x (mm);§ 4.1 基于电感式传感器的位移测量设计; 载有交变电流的线圈产生交变磁场Hp，金属物平面感应出电涡流，产生交变涡流磁场Hs ，均在检测线圈（反向差动线圈）中产生感应电动势。;一、电涡流式传感器应用;量 程：0 ~ 30mm 分辨率：0.1%;薄膜厚度：d=X0-X 等效电感：L=L0-ΔL;一、电涡流式传感器应用;一、电涡流式传感器应用;一、电涡流式传感器应用;一、电涡流式传感器应用;动态测量范???：±1mm 分 辨 率：1um 精 度：3%;二、自感和互感式传感器应用;二、自感和互感式传感器应用;;ε电容极板间介质的介电常数，ε0为真空介电常数，εr极板间介质的相对介电常数；A两平行板所覆盖的面积；d两平行板之间的距离。 ;电容式传感器的三种类型： 变极距型、变面积型和变介电常数型。;两种常用变面积型电容传感器：线位移式和角位移。;初始电容C0为;初始电容C0为;设固定极板长度为a、宽度为b、两极板间的距离为d；被测物的厚度和介电常数分别为dx和ε, 则;设极板宽度为b，板间无介质ε2时，传感器的电容量;设被测介质的介电常数为ε1，液面高度为h, 变换器总高度为H，内筒外径为d，外筒内径为D，变换器电容值为 ;若电容器极板间距离由初始值d0缩小了Δd，电容量增大了ΔC，则有;电容的相对变化量为 ;电容传感器的灵敏度为;在差动式平板电容器中，当动极板位移Δd时，电容器C1的间隙d1变为d0-Δd，电容器C2间隙d2变为d0+Δd，则 ;电容值相对变化量为 ;差动式传感器的灵敏度为;与电感传感器不同，电容传感器中电容值和电容变化量都十分微小，难以直接为仪表所显示和记录。 因此，需要一些测量电路检测出电容的微小变化量，并转换成相应的电压、电流或频率输出。;一、调频电路;一、调频电路;运算放大器的放大倍数大，输入阻抗高, 可作为电容式传感器的理想测量电路。;平行平板电容传感器，则;变压器式交流电桥测量电路如图所示。电桥两臂C1、C2为为差动电容式传感器，另外两臂为交流变压器次级线圈阻抗的一半。当负载阻抗（如放大器）为无穷大时，电桥的输出电压为：;差动脉冲调宽电路，通过对传感器电容的充放电，使电路输出脉冲的宽度随传感器电容量变化而变化。 通过低通滤波器，被测量的变化转换为直流信号输出。;当F点电位UF升到与参考电压Ur相等时，比较器A1产生一脉冲使触发器翻转，使Q端为低电平。此时，电容Cx1通过二极管VD1迅速放电至零，而触发器经R2向C2充电。;（1）当Cx1=Cx2时，触发器两端电平的脉冲宽度T1和T2相等，测量电路在一个周期T=T1+T2时间内输出平均电压为零。;四、脉冲宽度调制测量电路;§ 4.2 基于电容式传