超声激励的气体挤压膜直线导轨及其控制器的研究-机械设计及理论专业论文 word格式.docxVIP

NanjingUniversityofAeronauticsandAstronauticsTheGraduateSchoolCollegeofMechanicalandElectricalEngineeringAnalysisonGasSqueeze-filmLinearGuideUsingUltrasonicUibrationandItsController(NationalNaturalScienceFoundationNoAThesisinMechanicalDesignandTheorybyZhuDayunAdvisedbyAssociateProfessorMaXizhiSubmittedinPartialFulfillmentoftheRequirementsfortheDegreeofMasterofEngineeringJanuary,2012承诺书本人郑重声明：所呈交的学位论文，是本人在导师指导下，独立进行研究工作所取得的成果。尽我所知，除文中已经注明引用的内容外，本学位论文的研究成果不包含任何他人享有著作权的内容。对本论文所涉及的研究工作做出贡献的其他个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本人授权南京航空航天大学可以有权保留送交论文的复印件，允许论文被查阅和借阅,可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或其他复制手段保存论文。(保密的学位论文在解密后适用本承诺书)作者签名：日期：摘要近场超声悬浮是一种基于气体挤压膜原理的新型支承方式，有着重要的应用前景，但到目前为止，其悬浮机理还没有完全被解释清楚。通过理论研究和实验分析阐述了超声波激励的挤压膜的特性。证明了超声激励的挤压膜具有较大的承载能力，能够支承自由悬浮的物体。超声激励的气体挤压膜直线导轨由压电陶瓷、弹性铰链滑块、轨道、超声挤压膜等部分构成，其工作机理涉及到电、固、气、声等多场的耦合作用。各元素的耦合特性决定着挤压膜的特性。本文首先建立了和模型相适应的气体挤压膜压力方程、压电换能器机电耦合方程，确定了较为切合实际的各场定解问题的边界条件及初始条件。在此基础上，通过应用ANSYS软件对各控制方程进行了耦合求解。通过ANSYS仿真，从声学角度解释了超声挤压膜现象。同时，设计制作了基于STC12C5410AD单片机的数字控制器硬件电路，编写了不完全微分PID控制程序，构建了气体挤压膜直线导轨系统试验台。实验研究分为直线导轨制备和悬浮验证实验两部分。直线导轨是能够应用在工程领域的一种无摩擦或极少摩擦的承载运输装置，它利用压电陶瓷和弹性铰链产生具有承载能力的超声挤压膜，它是超声挤压膜悬浮理论应用的一种探索和实践。其中悬浮实验是对所做的理论研究结论的验证，包括压电陶瓷粘贴、数字控制器、位移传感器及放大器的选择与调试，传感器信号的数据采集与数据后处理。在实验中测量了导轨的振幅、悬浮高度、承载能力等参数。同时，设计了一种基于超声变幅杆的气体挤压膜直线导轨，进行了设计和加工，并在实验中进行了研究，取得了良好的效果。通过实验，证明了超声激励的气体挤压膜直线导轨具有较大的承载能力和极低的摩擦，是一种具有实用性的新型传输方式。关键词：气体挤压膜，超声悬浮，直线导轨，耦合场，数字控制器，不完全微分PIDiAbstractNFAL(near-field-acoustic-levitation)isonekindsofnewsupportingtechniques,Itwillfindwidespreadapplicationprospectintheprecisionbearingfields.However,thelevitatingmechanismofthismethodhasn’tbeenveryclearbynow.Inthisthesis,thecharacteristisofthesqueezefilmexcitedbyultrasonicactuatersisstudiedbytheuseoflubricationtheoryandexperimentalmethods.Theresultsshowthatthesqueezefilmhasconsiderablecarryingcapacitywhichisenoghtosupportsmallpiecesofobjectswell.Thesystem consistsofpiezoceramicactuaters, aslider with elastichinges, aguide wayand otherdevices.Thepropertiesofthesysteminvolveinfourcoupledfieldsincludingelectric,s