太阳能电池片扩散工艺-精选.ppt

送片 用舟叉将装满硅片的石英舟放在碳化硅臂浆上，保证平稳，缓缓推入扩散炉。 * 回温 打开O2，等待石英管升温至设定温度。 * 扩散 打开小N2，以设定流量通小N2（携源）进行扩散 * 关源，退舟 扩散结束后，关闭小N2和O2，将石英舟缓缓退至炉口，降温以后，用舟叉从臂桨上取下石英舟。并立即放上新的石英舟，进行下轮扩散。 如没有待扩散的硅片，将臂浆推入扩散炉，尽量缩短臂桨暴露在空气中的时间。 * 卸片 等待硅片冷却后，将硅片从石英舟上卸下并放置在硅片盒中，放入传递窗。 * 检验原理ⅱ V R=F×V/I 四探针可以排成不同的几何形状，最常见的是排成一条直线。 探针间距远大于结深时，几何修正因子为4.5325。 I 四探针法原理 * 关于四探针 用途：测量半导体材料的电阻率。 原理：使用四根处于同一水平面上的探针压在所测材料上，1,4探针通电流。2,3探针间产生一定的电压。 * 扩散方块电阻控制在47-52Ω/□之间。同一炉扩散方块电阻不均匀度≤20%，同一硅片扩散方块电阻不均匀度≤10%。 表面无明显因偏磷酸滴落或其他原因引起的污染。 * 工艺参数 TCA清洗 预饱和 温度（℃） 时间（min） 小N2(L/min) O2(L/min) 参数设置 1050 240-480 0.5 10-25 温度（℃） 时间（min） 小N2(L/min) 大N2(L/min) O2(L/min) 参数设置 900-950 60 1-2 18-25 1-2.5 * 工艺参数 扩散参数 时间（min） 温度（℃） 大N2（L/min） 小N2（L/min） O2（L/min） 源温（℃） 进炉 6 840~900 25~30 0 0 20 稳定 9 840~900 25~30 0 0 20 通源 20~30 840~900 25~30 1.6~2.0 1.8~2.2 20 吹氮 10 840~900 25~30 0 0 20 出炉 10 840~900 25~30 0 0 20 * 扩散装置示意图 * POCl3磷扩散原理 POCl3在高温下（600℃）分解生成五氯化磷（PCl5）和五氧化二磷（P2O5），其反应式如下： 生成的P2O5在扩散温度下与硅反应，生成二氧化硅（SiO2）和磷原子，其反应式如下： 由上面反应式可以看出，POCl3热分解时，如果没有外来的氧（O2）参与其分解是不充分的，生成的PCl5是不易分解的，并且对硅有腐蚀作用，破坏硅片的表面状态。但在有外来O2存在的情况下，PCl5会进一步分解成P2O5并放出氯气（Cl2）其反应式如下： 生成的P2O5又进一步与硅作用，生成SiO2和磷原子，并在硅片表面形成一层磷-硅玻璃，然后磷原子再向硅中进行扩散 。由此可见，在磷扩散时，为了促使POCl3充分的分解和避免PCl5对硅片表面的腐蚀作用，必须在通氮气的同时通入一定流量的氧气 。 * 五氧化(二)磷 1.物质的理化常数: 国标编号 81063 CAS号 1314-56-3 中文名称 五氧化(二)磷 英文名称 Phosphorus pentoxide；Phosphoric anhydride 别 名 磷酸酐 分子式 P2O5 外观与性状 白色粉末，不纯品为黄色粉末，易吸潮 分子量 141.94 蒸汽压 0.13kPa(384℃) 熔 点 563℃ 溶解性 不溶于丙酮、氨水，溶于硫酸 密 度 相对密度(水=1)2.39；相对密度(空气=1)4.9 稳定性 稳定 危险特性：接触有机物有引起燃烧危险。受热或遇水分解放热，放出有毒的腐蚀性烟气。具有强腐蚀性。 燃烧(分解)产物：氧化磷。 * Cl2 　①颜色\气味\状态：通常情况下为有刺激性气味黄绿色的气体。 ②密度：比空气密度大，标况时是ρ=M/V(m)=(71g/mol)/(22.4L/mol)=3.17g/L 。 ③易液化。熔沸点较低，在101kPa下，熔点-107.1°C，沸点-34.6°C，降温加压可将氯气液化为液氯，液氯即Cl2，其与氯气物理性质不同，但化学性质基本相同。 ④溶解性：可溶于水，且易溶于有机溶剂，难溶于饱和食盐水。1体积水在常温下可溶解2体积氯气，形成氯水，密度为3.170g/L。 * 影响扩散的因素 浓度差别的存在是产生扩散运动的必要条件，环境温度的高低则是决定扩散运动快慢的重要因素，而扩散时间则是决定扩散的浓度和深度的因素。 * 高温氧化/扩散系统的设备简介 高温氧化/扩散系统设备的总体结构分为四大部分：控