材料化学15演示教学.ppt

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* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 由上面两式可知B↑ rc↓ωc↑,即B↑带电粒子以更小的轨道回旋得更快.这表明磁场对带电粒子有约束作用,磁场愈强,约束得愈紧.如果不存在磁场,则回旋半径rc=→∞ ,也就谈不上约束了。 若电子和离子的rc ωc分别为rce ωce rci ωci,  对热平衡等离子体有                           表明      即电子回旋频率比离子快得多,而回旋半径则比离子半径小得多。 从上述分析知,实际应用的等离子体装置中,可利用强度的不同和位形不同来达到定向约束的目的。 2.恒定电磁场中的电漂移运动 若在上述恒定磁场内还存在一个恒定的小电场 ,电场方向垂直于磁场方向。则带电粒子在正交电磁场中的运动方程为: 若 =0 则 q =0即上述拉摩运动;若 拉摩运动+电场作用下的运动(漂移运动)。 对于正离子,考虑垂直于磁场的运动分量,则运动方程改写为 * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * ②.振荡周期τP可作等离子体电中性条件成立的最小时间尺度,当任一个时间间隔时τ τP ,由于等离子体振荡总是存在着的粒子作周期性振荡的空间电场。 当时ττP ,可能产生的空间电荷和空间电场在这段大于振荡周期的时间间隔内,平均效应才都会归于零,这时方可以时间尺度上把等离子体看成是宏观电中性的。 ③.振荡周期可看作是等离子体存在的时间尺度下限。作为等离子体,其存在时间必须足够长,以便使大量带电粒子间有充分的相互作用时间,来消除偶然发生的涨落所造成的影响。即当其存在的持续时间时 它才能成为具备自己特有性质和行为的等离子体; 反之,当一个带电粒子系的存在时间τ τP ,则该体系的性质将会依赖于所含粒子涨落造成的偶然状态,那么便会是变化多端的,当然也就不可能具有等离子体应有的典型性质和运动规律。等离子体必须满足这一时间特征尺度,可简单设为 。 4.等离子体参量: 这表明,无论是空间特征还是时间特征,都与粒子密度或温度有着不可分割的内在联系,因此,还可以引入一个藉粒子密度和温度来描述等离子体的新物理量――等离子体含量 。 设德拜球内的粒子数为ND,则有 由 得 粒子数, 式中T为热平衡温度,单位K 令λ=3ND ,λ为等离子体参量,显然它只与等离子体的两个基本的特征参量n、T有关,要等离子体为准电中性,必须 λ >>1。 5.等离子体判据: 至此,可以把等离子体判据归纳为以下三条: 满足这些条件的电离气体方可称为等离子体,否则虽体系中也有一些气体分子电离,但那只不过是彼此互不相关的各个部分的简单堆积,而不具备作为物质第四态的典型性质和特征,因而仍然属于气体。 五、等离子体鞘 1.等离子体鞘: 当等离子体与容器壁接触时,表现出与普通气体截然不同的性质。 等离子体不是直接接触器壁的,而是在与器壁表面的交界处,形成一个电中性被破坏了的薄层,实验表明,在这种情况下形成的薄层是一个负电位的区域,它把等离子体包围起来。 如在放电管中发生辉光放电时,即可看到等离子体辉光被靠近器壁的一层“暗区”包围的现象,这个偏离电中性薄层就叫做等离子体鞘或称之为鞘层。 形成鞘层位置: 器壁处 在插入等离子体的电极近旁 放置于等离子体中的任何绝缘体表面。 等离子体化学中的许多现象和工艺技术都与电极或基片表面附近鞘层的形成、鞘层的特性以及鞘层中产生的物理化学过程密切相关。 2.鞘层的形成 鞘层是等离子体受某种扰动时,由德拜屏蔽产生的空间电荷层,以下分两种情况来讨论。 ①.电极近旁的鞘层: 理想等离子体是等电位的,内中不存在电场。设等离子体空间电位为Vp,简称等离子体电位. 若在等离子体中插入导体电极,并设该电极的电极电位为Vs,如果我们改变Vs的值,使Vp≠Vs,并接通外电路,那么电极上变会有电流通过,实际上相当于引入一个外电势作用于等离子体。 等离子体则必然对外电势的扰动作出相应的反应,其结果是电极近旁的等离子体就不会再保持原来的状态了。 Vp > Vs时,电极近旁形成的电场将吸引离子并阻尼电子,最终ni>ne。随电场的增强,将会在距电极一定距离范围内形成离子构成的空间电荷层称为离子鞘。 Vp < V

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