半导体研究所成果汇编.pdf

中国科学院半导体研究所 科 技 成 果 汇 编 成果管理与转化中心 二○一二年制 前 言 1956 年，在我国十二年科学技术发展远景规划中，半导体科学技术 被列为当时国家新技术四大紧急措施之一。为了创建中国半导体科学技术 的研究发展基地，1960 年 9 月 6 日在北京成立中国科学院半导体研究所 （以下简称半导体所）。半导体所现已发展成为集半导体物理、材料、器 件研究及其系统集成应用于一体的国家级半导体科学技术的综合性研究 机构。现有在职职工 652 人，其中：中国科学院院士 8 人、中国工程院 院士2 人、研究员及正高级工程技术人员 94 人、副研究员及高级工程技 术人员 111 人。研究生 545 人。 半导体所的主要研究领域涵盖了光电子及其集成技术；体材料、薄 膜材料、微结构半导体材料科学技术；低维量子体系和量子工程、量子器 件的基础研究；半导体人工神经网络和特种微电子技术。 五十多年的发展，半导体所的科研成果遍布全国。研制出中国第一 只锗晶体管、硅平面晶体管、半导体固体组件；研制出锗单晶、硅单晶、 砷化镓单晶；制造出第一台硅单晶炉、区熔炉；……取得了一系列重大原 创性成果。历年来，半导体所累计取得省部级以上奖项 194 项，其中国家 级奖 40 项，2001 年黄昆院士获国家最高科学技术奖。 本汇编收集了半导体所近年的部分应用类研究成果，这些成果有的 已进入产业化实施阶段，有的处于中试或实验室阶段，对于不同阶段的成 果，可以采用不同的合作方式。 半导体研究所的科学家和工程师们为本汇编提供了重要的资料，谨 向他们致以衷心的感谢！ 科研成果转移转化项目列表 一、 电力设备绝缘在线监测系统 1 二、 脉冲激光监测成像系统3 三、 半导体照明通信技术5 四、 基于LED灯光的光学无线控制系统7 五、 瓦斯气体探测系统9 六、 基于人脸识别的身份认证系统 11 七、 农作物种子的近红外光谱分析鉴别系统 13 八、 基于TDLAS技术的气体传感器15 九、 表面等离子共振技术在干细胞研究中的应用 17 十、 光纤光栅温度传感器19 十一、 分布式光纤温度传感器（DTS ）20 十二、 光纤光栅应变传感器21 十三、 光纤振动传感器22 十四、 大功率氮化镓基LED器件工艺技术23 十五、 垂直结构GaN基LED 25 十六、 紫外LED 27 十七、 LED 晶圆级封装技术29 十八、 全固态纳秒级紫外激光器 31 十九、 脉冲光纤激光器33 二十、 光纤地震检波器34 二十一、 基于MEMS谐振子的高性能射频微纳谐振器件 35 二十二、 激光三维成像技术37 二十三、 可编程高速机器视觉芯片 38 二十四、 具有温度传感功能的无源超高频电子标签 39 二十五、 实时图像处理技术40 二十六、 LED用蓝宝石图形衬底41 二十七、 III-V化合物半导体磷化铟(InP)、锑化镓（GaSb ）和砷化铟（InAs ） 单晶生长和晶片加工技术43 二十八、 宽禁带半导体ZnO和AlN单晶生长技术 45 二十九、 低成本太阳能级多晶硅提纯技术（6N ）47 三十、 批量生产的单晶材料及开盒即用晶片 48 三十一、8 英寸硅衬底氮化镓LED外延片材料规模化生产技术 50 中国科学院半导体研究所