SMIF技术已成为迷你无尘室代名词.pdf

引用--无菌室/净化工程/ 推荐--洁净度等级标准/news-2/ SMIF技术已成为迷你无尘室代名词 访ASYSTf4=技公司亚太区营运总裁 梁炽庭 通讯员：刘林发 采访时间：2003年 3月 13日 采访地点：上海新 国际博览中心… 一Semi— conChian20032#展馆 Asyst科技 公 司展 台 笔者采访 ASYST科技公 司梁 炽庭 (Kenneth Leung)时，恰逢ASYST接获上海先进半导体制造有 限公司 (ASMC)的大笔订单，此项业绩无疑使 Asyst 继续保持在 中国半导体 自动化设备市场 的领导地 位，梁炽庭对 中国大陆市场充满信心。 净的 目的，这是技术 的关键 。 梁炽庭先生在业界具有多年的工作经验 ，在亚 在 SMIF技术未开发以前 ，晶圆制造厂 (Fab)必 洲市场从事开发工作 已有 13年时间，ASYST与天 须维持整个车间的百分之百的洁净 ，这是非常困难 津摩托罗拉 (Motorola)的合作就是梁炽庭先生一手 的一件事情。SMIF技术研发出来后，只需维护晶圆 促成 的 ，现在 中国市场 的主要 Foundry厂商 ，如： w(afer)本身的洁净就可以了，对外在的环境要求变 MC、UMC、SMIC、GSMC、ASMC都是 ASYST的客 得次要 了，这可以大幅度地控制制造成本。当然，任 户 何事情听起来都是简单的，但要达到 目的却需付出 巨大的代价，对高科技来说尤其如此。 问：ASYST科技公司虽然在 中国发展很多年 ， 对 SMIF技术的理解 ，可以用冰冻、冷藏食物的 但今年是第一次参加 SemiconChina，主要原因是什 原理来解释。冰冻、冷藏食物时，您只需把东西放进 么 呢 ? 冰箱就可 以，没必要将整个房子都冻起来 。对 梁 ：我想先介绍一下 ASYsT的科技 ，如果您对 Foundry工厂来讲，维护整个厂商的洁净不是 目的， 她有个 了解 ，就会 明白ASYST公司到 中国发展 的理 维护晶圆的洁净度才是 目的。SMIF技术就是利用单 由了。ASYST公司在业界最著名的是拥有领先 的标 一 系统的迷你环境和 自动化传输机器在制造环境 准机械接 口 (StandardMechanicalInterface—SMIF) 中将 晶圆隔离处理 ，以避免 晶圆受到污染 ，从而提 技术 。 高晶圆的生产 良率 。 Foundry厂必须考究的一个重要工作是保证洁 在过去的 10年 中，半导体产业 内部发生了急 净厂房 的洁净度 ，针对此 问题 ，各个公司有不 同的 剧的变化，由IDM发展到 Foundry,再到Fabless等， 解决方案，ASYST的解决方案是让晶圆(wafer)制造 ASYST的技术也在此阶段发展起来 。中国的半导体 与外在环境分离开来 ，从而达到晶圆(wafer)表面洁 业已经发展了近二十年，但并没有真正的发展起 l 72) 2003年 5月 欢迎投稿 E-mail．asianinfo@online．sh．cn I 一—_■ ■■麟 翮 ——网圈隧—函函 ■ 翻 维普资讯 来，作为一个如此大的国家，这是值得惋惜的。直到 线的月产量 ，而且要求非常准确 ，使用 SMIF技术可 90年代后期，中芯国际集成 电路制造 (上海)有限公 以使 良品率达到 95％左右，这在过去是不曾有过