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智能化扩散硅压力传感变送器的研制毕业设计推荐
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本科毕业论文
题 目：智能化扩散硅压力传感
变送器的研制
目 录
TOC \o 1-3 \h \z \u HYPERLINK \l _Toc263533862 摘 要 PAGEREF _Toc263533862 \h III
HYPERLINK \l _Toc263533863 Abstract PAGEREF _Toc263533863 \h IV
HYPERLINK \l _Toc263533864 1 前 言 PAGEREF _Toc263533864 \h 1
HYPERLINK \l _Toc263533865 1.1 压力传感器的国内外发展现状 PAGEREF _Toc263533865 \h 1
1.2 压阻式压力传感器简介 2
HYPERLINK \l _Toc263533866 1.2.1 压阻式压力传感器的结构 PAGEREF _Toc263533866 \h 2
HYPERLINK \l _Toc263533867 1.2.2 压阻式压力传感器的发展 PAGEREF _Toc263533867 \h 2
HYPERLINK \l _Toc263533868 1.2.3 扩散硅压力传感器的应用 PAGEREF _Toc263533868 \h 3
HYPERLINK \l _Toc263533869 1.2.4 扩散硅压力传感器的特点 PAGEREF _Toc263533869 \h 4
HYPERLINK \l _Toc263533870 1.3 扩散硅压力传感器的发展趋势 PAGEREF _Toc263533870 \h 5
HYPERLINK \l _Toc263533871 1.4 本课题所完成的任务 PAGEREF _Toc263533871 \h 6
HYPERLINK \l _Toc263533872 2 扩散硅压力传感变送器的原理 PAGEREF _Toc263533872 \h 7
HYPERLINK \l _Toc263533873 2.1 压阻式压力传感器的机械原理 PAGEREF _Toc263533873 \h 7
HYPERLINK \l _Toc263533874 2.2 压阻式压力传感器的工作原理 PAGEREF _Toc263533874 \h 8
HYPERLINK \l _Toc263533875 3 扩散硅压力传感器的温度补偿原理 PAGEREF _Toc263533875 \h 9
HYPERLINK \l _Toc263533876 3.1 对扩散硅压力传感器进行温度补偿的意义 PAGEREF _Toc263533876 \h 9
HYPERLINK \l _Toc263533877 3.2 零点温度漂移及其补偿 PAGEREF _Toc263533877 \h 10
HYPERLINK \l _Toc263533878 3.2.1 零点温度漂移产生的原因 PAGEREF _Toc263533878 \h 10
3.2.2 零点温度漂移的补偿 10
HYPERLINK \l _Toc263533879 3.3 灵敏度温度系数及其补偿 PAGEREF _Toc263533879 \h 14
HYPERLINK \l _Toc263533880 3.3.1 灵敏度漂移产生的原因 PAGEREF _Toc263533880 \h 14
HYPERLINK \l _Toc263533881 3.3.2 灵敏度漂移补偿措施 PAGEREF _Toc263533881 \h 14
HYPERLINK \l _Toc263533882 3.4 零位温度系数及其补偿 PAGEREF _Toc263533882 \h 14
HYPERLINK \l _Toc263533883 4 扩散硅压力变送器整体方案设计与计算 PAGEREF _Toc263533883 \h 17
HYPERLINK \l _Toc263533884 4.1电源电路 PAGEREF _Toc263533884 \h 17
HYPERLINK \l _Toc263533885 4.1.1 传感器供电电路 PAGEREF _Toc263533885 \h 17
HYPERLINK \l _Toc263533886 4.1.2 信号处理供电电路 PAGEREF _Toc263533886 \h 20
HYPERLINK \l _Toc263533887 4.2 信号处理电路 PAGEREF _Toc263533887 \h 21
HYPERLINK \l _Toc263
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