LDS技术手册.doc

vTH 10.216 / 5.02 0-1 LDS 1000 用于装入试漏系统的 模 件 式 检 漏 系 统 技 术 手 册 目录 0-2 一般说明 1.1 本手册中的标志 1.1.1 真空符号 1.1.2 技术术语 1.2 莱宝公司支持 1.3 前言 1.3.1 用途 1.3.2 技术参数 1.3.2.1 物理参数 1.3.2.2 电气参数 1.3.2.3 其它参数 1.3.2.4 环境条件 1.4开箱 1.4.1 供货范围 1.4.2 辅件，选件 2. 安装 2.1 安装现场 2.1.1 电子学组件 2.1.2 操作单元 2.1.3 质谱仪组件 2.1.3.1 真空连接 2.1.4 质谱仪组件与电子学组件之间的连接 2.2 电连接 2.3 工作模式的设定 2.3.1 控制模式的设定 2.3.2 工作模式的设定 2.4 连接系统控制器 2.4.1 连接编程控制器 2.4.2 连接计算机 2.4.3 图形记录仪输出 2.4.4 连接件 2.4.4.1 图形记录仪输出，连接件XP6 SST（4-脚） 2.4.4.2 继电器输出，连接件XP5 SST（16-脚） 2.4.4.3 编程控制器，连接件XP4 SST（16-脚） 2.4.4.4 RS 232连接件，XS2 SST25（25-脚） 2.4.4.5 RS 232连接件，XS3 SST25（25-脚） 2.5 音响输出 2.5.1 耳机 2.5.2 扬声器 3. 仪器如何工作 3.1 LDS 1000概述 3.2 功能说明 3.2.1 LDS 1000的真空图 3.2.1.1 有泵组件的粗检模式安排 3.2.1.2 无泵组件的粗检模式安排 3.2.1.3 细检模式安排 3.2.1.4 吸入器模式安排 0-3 3.3 组装件说明 3.3.1 电子学组件 3.3.1.1 电气和电子组件 3.3.1.2 风扇 3.3.1.3 操作单元 3.3.1.4 键操作开关 3.3.2 质谱仪组件 3.3.2.1 涡轮分子泵 3.3.2.2 质谱仪 3.3.2.3 离子源 3.3.2.4 分离系统 3.3.2.5 离子收集极 3.3.2.6 高阻抗输入放大器 4. LDS 1000的使用 4.1 启动 4.1.1 调整THERMOVAC真空计 4.1.2 确定真空模式下的机器因素 4.1.3 吸入器模式下的校正因素 4.2 控制器及其功能 4.2.1 控制器和显示元件概述 4.2.1.1 操作单元上的显示元件 4.2.1.2 操作单元上的控制器 4.2.2 电源开关 4.2.3 键操作开关 4.3 仪器设定值和菜单结构 4.3.1 仪器参数的设定 4.3.2 菜单功能（一览） 4.3.3 菜单功能说明 4.4 校准 4.4.1 内部校准 4.4.2 外部校准 4.4.2.1 真空和吸入器模式的标准校准 4.4.2.2 动态校准 4.5 通过编程控制器通讯 4.5.1 编程控制器输入 4.5.2 继电器输出 4.6 音响讯号 4.7 仃机 5. 维护 5.1 莱宝服务 5.2 维护工作 5.2.1 更换过滤件 5.2.2 检查THERNOVAC真空计TTR 211S 5.2.3 选件泵组件的维护 5.2.4 更换保险丝 5.2.5 清洗 5.3 维护计划 6. 信息 1-1 6.1 警告和误差信息 7. 备件清单 8. LDS 1000的接口说明 一般说明 为确保仪器从开始就进入最佳工作状态，我们建议您仔细阅读本技术手册。 本手册内包含LDS 1000的功能、安装、启动和运行等重要内容。 附注 我们保留本手册设计与任何参数的修改权。图表是无约束的。 1.1 本手册中的标志 有关操作安全和保护的重要标志如下： 警告 表示为防止人身伤害必须严格遵守的步骤。 注意 表示为防止LDS 1000损伤或损坏必须严格遵守的步骤。 注 表示用户必须遵守的特殊技术要求。 参阅图例，例如（2-4/7），顺次表示第2章第4图中的第7项，这里是电压选择开关。 1.1.1 真空符号 在本手册中使用的真空技术主要符号如下： 真空泵 , 通用 阀门