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烧结体湿敏元件的制备及性能测试.pdf

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摘要 摘 要 本文简要阐述了湿敏材料和湿敏元件的研究状况以及烧结体型湿敏 元件的感湿机理。 优化实验,以该材料为感湿体材料制作烧结体型湿敏元件的工艺过程。 通过调节晶相与玻璃相配比和烧结制度,制备出一系列感湿体样品,在 对其性能进行全面比较分析的基础上,选定了用晶相与玻璃相比为94: 6和96:4两种材料制各感湿体。在元件制作方面主要解决了电极制作 工艺和封装工艺,取得了比较理想的效果,制成的元件具有较好的感湿 性能、美观的外形和较高的机械强度。 文中给出了元件的感湿特征曲线、感湿灵敏度、响应时间、选择性、 稳定性等性能的测试结果。该湿敏元件的感湿特征曲线平滑,基本成线 性,感湿灵敏度适中;湿滞回差小,响应时问较短。元件对丙酮、酒精 等气体不敏感,但对氨气敏感,不宜在有氨气的环境中使用;在普通和 干燥的环境下长时间工作后,各项参数改变较小即具较好的稳定性,但 在高湿环境下长时间工作,各项参数有较大变化即稳定性差。对实验结 果作了理论分析。 关键词:湿敏材料湿敏元件稳定性选择性 Abs仃act Abstract this theresearchabout materialand In paper,weexpatiate humidity-sensitive of andthe mechanism hum{d{ty—sensitivecomponent sintering humidjty—sensitivecOmponent. howto the The introducesthe about paper experimentationoptimize materialof in and 91ass—ceramic ZnC。204一V205-Li20—ZnOparticular madethe materialof technicaI which process glass-ceramic into We ZnCr204-V205-Li20—ZnOsinteringhumidity-sensitivecomponent. a of naninthe of of series wayadjustproportions produce humidity.sensitive choose of and ZnC。204 V20 ZnC。204 5一Li20—ZnO.Finally,weproportions 96:4 to and are94:6and V205.Li20—ZnO sinlplesproducehu

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