优化铜种子层对电镀铜孔洞缺陷的改善-集成电路工程专业论文.docx

第 一 章半 导 体 互 连 工 艺第 一 节铝 互 连 工 艺集 成 电 路 芯 片 内 部 采 用 金 属 薄 膜 引 线 来 传 导 工 作 电流 这 种 传 导 电流 的 金 属 薄 膜 称 作 互 连 引 线 。互 连 技 术 的 主 要 功 能 是 将 密 布 于 芯 片 各 处 的 几 十 万 上 百 万 个 半 导 体 器 件 连 接 整 合 起 来 ，以 实 现 千 变 万 化 的 集 成 电 路 的 设 计 功 能 。第 一 代 互 连 技 术 是 以铝 金 属 互 连 技 术 为 代 表 ，铝 互 连 技 术 是 以铝 和 铝 合 金 作 为 导 体 材 料 ，二 氧 化 硅 作 为 绝 缘 介 质 材 料 。它 具 有 成 本 低 、技 术 成 熟 ，粘 附力 强 、 易 刻 蚀 、 与 P 型 及 N 型 半 导 体 易 形 成 好 的 欧 姆 接 触 等 优 点 ，在 V L SI 时 代 及 其 以 前 的 集 成 电路 中 ，它 们 基 本 上 可 以满 足 电路 性 能 的要 求 。因此 ，铝 互 连 技 术 在 互 连 技 术 发 展 的 初 期 占有 统 治 地 位 。 图 1一1 就 是 典 型 的 铝 互 连 结 构 示 意 图 。口霎l口.铝 互 联 线钨 通 孔 阻 挡 层 介 电质自对 准 硅 化 物图 1一1 幸吕互 连 结 构 示 意 图铝 互 连 工 艺 包 括 : 2 步 化 学 机 械 研 磨 (C M P )、2 步 蚀 刻 (E tC h )、3 步 金 属 淀 积 、 1 步 介 质 填 充 步 骤 。具 体 步 骤 如 下 :l)生 长 一 层 介 电 层 ， 用 一 次 光 罩 和 一 次 刻 蚀 工 艺 ， 打 开 通 孔 ;2)生 长 一 层 阻 挡 层 以及 钨 金 属 层 ，通 过 化 学 机 械 研 磨 ， 去 除 表 面 部 分 ， 留 一F 钨 通 孔 部 分 ;3)再 生 长 铝 金 属 层 (包 括 底 部 的 粘 合 层 和 顶 部 的放 反 射 层 一 次 完 成 )，再 用一 次 光 罩 和 一 次 刻 蚀 工 艺 ， 定 义 出 铝 线 的 布 线 ;4)再 生 长 一 层 介 电层 ， 并 再 次 用 化 学 机 械 研 磨 做 平 坦 化 。随 着 集 成 电路 技 术 进 入 U L S I 时 代 ，集 成 电路 的 设 计 尺 寸 、连 线 线 宽 ，线 高 ，都 在 摩 尔 定 律 的 驱 使 下 不 断 缩 小 之 后 〔‘〕，器 件 特 征 尺 寸 已经 进 入 深 亚 微 米 领 域 ， CM O S (C o哪 1em en t ar y M e: a l O x id e S em ieon du e t or ) (简 称 C M O S ) 晶 体 管 的 运 作 速 度 将 因信 道 长 度 的 缩 小 而 加 快 ，但 是 多 重 互 连 的 部 份 ，则 会 因 为 互 连 延 迟 的 效 应 ， 以约 线 宽 每 缩 小 0 . 7 倍 便 延 长 RC 延 迟 一 倍 的速 度 而 趋 缓 。 由于 电路 的 门延 迟 越 来 越 小 ，互 连 延 迟 却 在 逐 渐 增 大 ，从 而 使 得 各 元 件 之 间优 化 的 互 连 技 术 成 为 集 成 电路 的 关 键 技 术 之 一 ，后 端 互 联 技 术 对 集 成 电 路 的 主 要 影 响 在 于 响 应 速 度 以 及 可 靠 性 。 由 M Ulark a 〔2〕等 人 的研 究 表 明 了作 为 传 统 的铝 互 连 技 术 ， 由于 采 用 铝 作 为 互 连 引 线 材 料 ，随 着 互 连 线 层 数 和 互 连 线 长 度 的迅 速 增 加 以及 互 连 线 宽 度 的 减 小 ，铝 连 线 电 阻 增 加 ，使 其 电路 的 互 连 时 间 延 迟 、信 号 衰 减 及 串扰 增 加 〔3〕。 同 时 电迁 移 和 应 力 迁 移 效 应 加 剧 ，严 重 影 响 电路 的 可 靠 性 ￡刃。面 对 这 些 问题 ，铝 互 连 技 术 不 能 有 效 解 决 。同 时 互 连 工 艺 的 制 造 成 本 要 求 进 一 步 降 低 ，而 铝 互 连 技 术 无 法 满 足 这 一 要 求 。因此 ，传 统 的 铝 互 连 技 术 已经 不 能适 应 当 前 互 连 技 术 发 展 的 需 求 ，面 临 着 被 淘 汰 的 局 面 。第 二 节铜 互 连 工 艺第 二 代 互 连 技 术 以铜 互 连 技 术 为 代 表 。由 于 铜 具 有 比铝 更 低 的 电 阻 ( 铝 的 电 阻率 为 2. 66 抖只. Cm