专题名称表面波测试系统制作及量测.doc

大學部畢業論文 題目：高頻表面聲波快速探測系統之製作與研究 研究單位：中興物理 學生姓名：黃盈傑 指導老師：孫允武副教授 目錄： 摘要……………………………………………………………………...2 Chapter 1 簡介 …………………………………………….…………3 Chapter 2 原理介紹 2.1 表面波原理（SAW）……………………………….…..4 2.2 鎖相迴路技術（PLL）…………………………………7 2.3 Use Mixer As Detectors …………………………………11 Chapter 3 研究方法 3.1 測量系統流程圖……………………………………..…13 3.2 實驗流程解說 3.2.1 訊號分配說明…………………………………...15 3.2.2 通過樣品後之訊號處理………………………...15 3.3重點訊號處理說明 3.3.1 PLL訊號圖示與分析………………………….17 3.3.2 Intensity Loop訊號圖示與分析……………….18 Chapter 4 系統重點說明與參數測量 4.1 使用重點說明與訊號全記錄…………………………..18 4.2 參數測量 4.2.1 PLL參數測試結果……………………………..23 4.2.2 相位準確度量測………………………………..28 4.3 重點電路說明…………………………………………...29 Chapter 5 樣品量測結果 5.1 基本型SAW Device測量結果…………………………37 5.2 表面波之光電特性量測結果………………………….. 38 5.3 結論與未來展望 ……………………………………….40 參考書目 ………………………………………………………………..40 1 摘要 表面波（Surface Acoustic Wave）是一項相當靈敏的測量工具，藉由自製的高頻訊號處理系統，配合上合適壓電材料，便可以架構起一精準且廉價的測試系統。（精準度可高達10E-9）。本研究即是利用此自製系統，加上自製的表面波元件，藉由所產生的表面波與周遭環境的交互作用，來構成一測量系統。所以我們必須製造出一套適合的儀器來產生，，SAW系統。基本上本專題是延續了去年實驗室初步架設起的SAW量測系統，更進一步地改良了快速取樣的功能（sample and hold circuit），訊號處理之高頻放大器（單級最高可放大1000倍），新的功率衰減量測方法（Mixer detector），，”快速”的含意在此系統的表現上有兩種。一種是我們給予SAW元件短脈衝波特性（約1μs），我們可以從中獲得外界環境與表面聲波短時間交互作用的訊息;另一種則是對於PLL系統對於環境變化的鎖相反應時間（可快速至幾十ms左右）。此功能也是我們此次在系統上所訴求的主要部分。 此系統的架設成功，非常有利於做精密的物理特性量測。我們利用此系統捕捉樣品瞬間的反應特性，並於短時間內做出對樣品特性變化的鑑定。當然，其基本精髓仍在於對二維電係系統導電度的變化量測，因此也豐富蘊含對基本物理特性量測的精神。報告將分成下面幾章節分別討論： 第二章研究方法中，我們將介紹本系統所使用的理論基礎，包含SAW原理，PLL架設理論，以及使用高頻元件偵測訊號方法。 第三章研究方法裡頭，會以實際圖片或示意圖表來分析實驗的流程架構，說明實驗的可行性。 第四章系統重點說明與參數測量記錄了系統處理訊號的過程，以及有關元件參數，系統參數的詳細記錄，於此章節裡會驗證系統的快速及高精密度的訴求。另外所使用的重點電路也會於此章做說明。 第五章樣品測量結果將實際鎖相量測的報告呈現說明系統鎖相的穩定度，也藉由SAW與光的交互反應驗證系統靈敏的特性，而在最後討論此實驗的結論與未來可行的後續研究。