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一. 目的：为了规范工艺运行过程，以达到工艺及生产的要求，特制定本作业指导书．二. 范围：适用于扩散间作业流程．三.职责：制造部：按照本文件要求自觉执行；质量部：按照本文件要求对执行情况进行稽核，并对稽核中发现的问题进行纠正、追踪验证；测试记录方块电阻。工艺部：监督本文件执行；设备部：提供相关设备详细的操作方案。四. 名称解释：无。五. 作业步骤5.1 一般操作序号作业项目作业内容1工装要求按要求双手戴上干净的PVC手套，戴上口罩,按照着装标准进行着装. 禁止不配戴手套或配戴脏污手套接触硅片表面、石英制品、镊子、承载篮、黑色承载盒及吸笔。严禁使用脏污的石英制品、镊子、黑色承载盒、承载篮吸笔接触
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