硅晶材料表面的研磨与抛光.docVIP

硅晶材料表面的研磨、抛光技术 参考中国研磨网链接: 1、引言 　　电子信息产业已经发展成为囯民经济与社会发展的第一大支柱产业，而电子信息产业的基础产业是集成电路(IC)产业。目前95%以上的半导体器件和99%以上的集成电路(IC)是用硅材料制成的。 　　商业化利用太阳能已成为世界趋势。欧盟、日本和美国都在致力于开发可再生能源如太阳能，以提高能源供应的安全性。中国在2008年后成为世界上最大的太阳能利用国之一。太阳能已成为中国能源新的希望，将为解决石油和煤炭价格上涨以及电力短缺带来契机。 　　硅系太阳能电池包括单晶硅电池、多晶硅薄膜电池等，其中单晶硅太阳能电池转换效率最高，光电转换率可以达到23