硅芯炉托盘控制系统.docVIP

硅芯炉托盘控制系统的设计与实 雷小博 (西安理工大学晶体生长设备研究所，陕西西安710048) 1 引 言 多晶硅是单晶硅生产过程中必不可少的主要原料，随着国内外市场对多晶硅原料的需求快速上涨，多晶硅相关产业的生产效率需要加强。硅芯是还原法生长多晶硅的载体，因此生长硅芯的硅芯炉设备改进势在必行。硅芯晶体直径一般为8～10 mm，细而长，一根原料棒可生长6根硅芯棒，为此设计籽晶转盘(如图1)，用于放置生成的硅芯和籽晶，图2为籽晶托盘结构示意图。转盘上有5个工位，与拉晶位一共有6个工位。工作时，在拉晶位生长好一根硅芯后，转盘在步进电机的驱动下，转盘的硅芯放置位旋转至拉晶位，卸下硅芯