钱钧传感器05压电式传感器.pdfVIP

传感器原理及应用 Principles and Applications of Transducer 机械与汽车工程学院 主 讲：钱 钧 电 邮：qianjun@ 地 址：机械楼604室 2011年4月28 日 第五章压电式传感器 原理：应用某些材料的压电效应，是一种有源传感 器（或称发电式传感器）。 压电效应：某些材料在受力时所产生的电极化现象。 正压电效应：某些电介质在受到某一方向的机械力而变 形时，在一定表面上产生电荷，若外力变向，电荷极性 机械能 随之而变；当撤除外力后，又重新回到不带电状态 逆压电效应：当在电介质的极化方向施加电场，电场力 电能 使其在一定方向上产生机械变形或机械应力；当撤除外 加电场时，变形或应力随之消失。又称电致伸缩效应 压电材料：具有压电效应的电介质 自然界中有20多种单晶体，如：石英 人造压电陶瓷，如：钛酸钡、锆钛酸铅 1 压电式传感器 用途 是一种能量转换型传感器（机械能-电能） 是力敏感元件，将被测量（如动态作用力、压力、 加速度等）转换成压电器件的表面电荷量，以实 现非电量的电测目的 第一节 压电转换元件的工作原理 石英晶体、压电陶瓷 第二节 压电式传感器应用 2 5.1 压电转换元件的工作原理 压电效应方程 是关于压电体中表面电荷密度（电位移）或电场 强度、与应力（或应变）张量之间关系的方程组 简单情况：施加方向一定的作用力F ， 极化面 F 产生的表面电荷为： Q = d F 式中，d为压电系数 通常情况：电荷密度q与应力σ之间关系为： q = d σ 式中，d为压电常数矩阵 q包括三个方向平面的电荷密度； σ为三个方向的单向应力、剪切 力-电之间呈线性关系! 应力；d为3×6系数矩阵 3 5.1 压电转换元件的工作原理 压电材料 石英晶体 目前广泛应用成本较低的人造石英晶体。有很大的机械强度和 稳定的机械性能，温度稳定性好，但灵敏度低，介电常数小， 因此逐渐被其他压电材料所代替。 至今石英仍是最重要的也是用量最大的振荡器、谐振器和窄带 滤波器等元件的压电材料 压电陶瓷 有较高的压电系数和介电常数，灵敏度高。机械强度不如石英 新型压电材料 压电半导体和有机高分子压电材料 4 5.1 压电转换元件的工作原理 石英晶体 SiO ，俗称水晶，为单晶体，有天然和人工之分。 2 目前传感器中使用的均是以居里点为573℃，晶 体的结构为六角晶系的α-石英。外形呈六角棱 柱体，由m 、R 、r 、s 、x 共5组30个晶面组成