無塵室簡介11－１.ppt

無塵室教育訓練教材 編寫人:陳永壽 無塵室的目的 製造高精密度化、細小型化產品品質，可靠性及高良率的重要設施。使用範圍包括半導體工業、生物化學、醫學、光學、食品等工業 無塵室的規劃 無塵室的用途即產品種類 無塵室內設備規劃 無塵室人員、物料、半成品及成品之動線 作業流程，管線佈置 彈性擴充能力 安全性與環保考量 無塵室著裝順序 進入無塵室之工作人員需穿著合適之無塵衣.鞋,不可穿著過寬或過緊之無塵衣.鞋 穿著無塵衣著裝順序 1.紮好頭髮 2.戴上髮罩(頭髮不可露出) 3.戴上口罩 4.穿著無塵衣(拉上拉鍊後,扣好頸部頭罩扣) 5.穿上無塵鞋 6.戴上手套(衣袖口需包住手套口) 7.著裝完成,照鏡檢查服裝儀容 著裝要求: 遮口遮鼻,頭髮不得外漏,衣袖口需包住手套口 潔淨室清掃 地板：每班以潔淨室專用吸塵室吸塵?每天以 黏塵拖把清潔(當地板發現異常時需立 即處理) 設備部份：(含外觀、內部、傳動滾輪、皮帶、 台面及週邊設備等)以吸塵器將粉屑 髒物去除，再使用無塵紙沾酒精擦 拭乾淨，頻率為每週一次 牆壁、玻璃窗、天花板：使用黏塵拖把清潔， 頻率為每週一次 無塵室清淨管理四大原則 防止微塵攜入 防止微塵產生 防止微影堆積 迅速排除微塵 1.施工人員應穿著施工用無塵衣，避免弄髒污染生產人員無塵衣。並遵守本公 司潔淨室管理規範。(進入施工人員需經潔淨室管理紀律訓練且測試合格者) 2.進入潔淨室之工具、管材、樓梯等，須先擦拭乾淨才可進入。 3.管材須切割，應拿出潔淨室外施作，完成後擦拭乾淨才可攜入。 4.施工中需在庫板挖孔者，在裁切同時，另一人在旁以潔淨室專用吸塵器吸塵 清潔，配管完成應以SILICON作氣密。 5.監工人員應準備PVC手套數雙及無塵拭紙，供施工人員髒污或破損時，清潔 更換。 6.潔淨室內嚴禁使用燒焊，生產進行中嚴禁施工人員進入回風牆或天花板內負 壓區施工。 7.完工後檢查項目: 潔淨室設備移入及施工規定 1.開關設備取物門、庫板:吸盤、套筒(或活動板手) 2.清潔機台:PVC手套、IPA、無塵拭紙。 3.移入:油壓板車、鋼板、橡及或PVC墊片木頭(需用 膠帶作包覆)。 潔淨室設備移入及施工規定 設備機台移入所需工具 潔淨室設備移入及施工規定 1.緩衝區以一般吸塵器及拖把清潔。 2.機台首先吊至緩衝區，將出入門關閉，地面清潔後，以IPA台` 清潔、擦拭。(清潔重點:機台平面、內部、凹凸槽以及輪子等) 3.移入機組較多，緩衝區無法一次容納時應分段施作，每次均在機組吊至緩衝區後將出入門關閉，清潔機台，移入並關閉庫板完成才可進行下段流程。出入門與庫板絕不可同時開啟。 4.庫板拆卸時，需將空調箱外氣量加大，確保潔淨室維持正壓。 5.庫板拆卸後，出入口以黏塵墊覆蓋，U型槽拆卸地面以工業膠布貼覆，避免發塵。 6.油壓板車、薄鋼板及須進入潔淨室之機具，以IPA擦拭清潔後，方可進入，若需使用堆高機設備，動力採用電池式。 7.機台重量超過1000Kg時，，地面應鋪設薄鋼板，避免刮傷地板 8.設備定位時，支撐腳應鋪不銹鋼墊片或潔淨室專用墊片，移出機具並將活動門以IPA擦拭後復原。 9.潔淨室移入動線以潔淨室專用吸塵器清潔及擦拭。 10.通知工務檢測潔室PARTICLE。 1.機台清潔及移入全程，人員應戴PVC手套，避 免指紋和PARTICLE污染設備。 2.鋼板進入潔淨室須擦拭清潔，木塊須用工業膠 布纏包覆後，進入潔淨室。 3.吸塵器使用前，應檢查HEPA集塵袋是否飽和。 4.機台擦拭力求徹底，庫板及出入門開啟力求縮 短時間。為爭取時效，必要時工務得提出需求 請生產線人員支援，以順遂工作之進行。 5.設備採購時，得要求廠商在機台出廠前作好清 潔及包裝，以減少事後清潔之死角。 注意事項 潔淨室設備移入及施工規定 無塵室維修注意事項 人員進出需依潔淨紀律執行管理． 承攬商進出無塵室紀律管理． 不得在無塵室內裁切管路﹑動火作業，僅能 緩衝區預制所需任何材料，並確實做好安全保護． 無塵室運轉中，施做二次安裝時，機台工作範圍有適當隔離保護，以免影響正常生產作業． 無塵室運轉中，嚴禁天花板上方有人員進出施工，以免因震動造成粉屑掉落，倘若有特殊狀況時，應遵守如下規定： (A)需維修之區域需隔離，該區之HEPA風管關關． (B)若空調為FFU系統，則需全線之FFU停止運轉，但持持外氣供應，保持無塵室正