半導體科學簡介.pptVIP

IC半導體的應用 CPU/電腦心臟 IC 應用的領域 IC 電路如同謎宮 IC 單位尺吋 無塵室環境的要求 塵埃的控制,大小 無塵室環境,機臺 無塵室工作場所 晶圓為由Si 拉晶形成 Wafer晶片 電路內容 IC 製程流程簡介 IC 製造簡介1 IC 製造簡介2 半導體科學和 物理/化學的關係 1.電路的製造是一連串化學反應及物理作用 DUV 反應機構 1.化學放大型光阻(CAR光阻):光阻曝光後以連鎖反應進行. HMDS(AD) 機構 功能:加強光阻與晶片的附著力 光源/光罩/Wafer相對關係 * * * *