材料分析与基础--第七章 TEM.pptVIP

第七章 TEM 主要内容 引言 1.OM的局限性 2.电子波特性 7.1 电子透镜原理 7.2 TEM的基本结构 7.3 TEM成像原理 7.4 电子衍射 7.5 电子衍射花样的标定 7.6 质厚衬度像 7.7 衍射衬度像 7.8 相位衬度像 7.9 TEM样品制备 引 言 1.OM的局限性 1）OM中折射定律：sinθ1/sinθ2=n2/n1 2）成像放大（光路图） （1）穿过凸透镜中心的光线不折射 （2）//主轴的光线，通过凸透镜后汇集于后焦点 （3）//副轴的光线，通过凸透镜后汇集于后焦面 （4）满足成像公式：1/L1+1/L2=1/f 3)OM分辨本领的局限 （1）分辨本领：能分辨两点之间的最小距离 （2）Airy斑图：半径R0 ≈(0.61λ/n.sinα).M 式中： λ---入射光波长 α---- 光波入射角 n-----透镜孔面角 M----透镜放大倍数 定义：当两斑圆圆心距= R0时，相应于两原点之间的长度Δr0 由定义则有:Δr0 = R0 /M= 0.61λ/n.sinα=1/2 λ 对于OM, Δr0 =1/2 λ=200nm (3)OM分辨本领极限Δr0=200nm 相应的有效放大倍数M