GB/T 34326-2017表面化学分析　深度剖析　AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法.pdf

ICS71.040.40 G04 中华人 民共和 国国家标准 / — / : GBT34326 2017ISO165312013 表面化学分析 深度剖析 和 AES XPS深度剖析时离子束对准方法及其 束流或束流密度测量方法 — — Surfacechemicalanalsis Deth rofilin Methodsforionbeam y p p g alinmentandtheassociatedmeasurementofcurrentorcurrentdensit g y fordeth rofilin inAESandXPS p p g ( : , ) ISO165312013IDT 2017-09-29发布 2018-08-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 / — / / : GBT34326 2017ISO 165312013 目 次 前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅲ 引言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅳ 1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1 、 、 ……………………………………………………………………………… 3 术语 定义 符号和缩略语 1 4 系统要求 ………………………………………………………………………………………………… 2 5 离子束对准方法 ………………………………………………………………………………………… 3 6 何时进行离子束对准及其检查………………………………………………………………………… 10 ( ) …………………………… 附录 资料性附录 离子束对准优劣情况下 深度剖析谱图对比 A AES 11 ( ) …………………