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第二章 光干涉技术 §2.1 光干涉基础知识 §2.2 近代干涉测试技术 §2.3 波面位相的实时检测技术 2.1 光干涉基础知识 两相干波的叠加 部分相干理论 典型干涉装置 干涉仪常用的光源 2.1.1 两相干波的叠加 2.1.1 两相干波的叠加 2.1.1 两相干波的叠加 2.1.2 部分相干理论 2.1.2 部分相干理论 2.1.2 部分相干理论 2.1.2 部分相干理论 2.1.3 典型的干涉装置 分波前法 分振幅法 同时分波前、分振幅 2.1.3.1分波前干涉装置 2.1.3.1分波前干涉装置 洛埃镜 2.1.3.1 分波前干涉装置 菲涅耳双面镜 2.1.3.1 分波前干涉装置 2.1.3.2 分振幅干涉装置 2.1.3.2 分振幅干涉装置 2.1.3.3 同时分波前、分振幅装置 2.1.3.3 同时分波前、分振幅装置 2.1.4 干涉仪常用光源 时间相干性和空间相干性 足够的输出功率 2.1.4 干涉仪常用光源 常用光谱灯 2.1.4 干涉仪常用光源 白光光源 以白光条纹的零级条纹来指示零光程差的位置。如在干涉显微镜、立式接触干涉仪及激光量块干涉仪中就应用白光条纹来定位。 第一次课结束 END 2.2 近代干涉测试技术 本节介绍几种近代光学测试领域里主要的双光束干涉仪。阐明其光学系统原理及测试方法。 2.2.1 非共路干涉仪 2.2.1 非共路干涉仪 2.2.1 非共路干涉仪 2.2.1 非共路干涉仪 2.2.1 非共路干涉仪 2.2.2 共路干涉仪 2.2.2 共路干涉仪 2.2.2 共路干涉仪 2.2.2 共路干涉仪 2.2.2 共路干涉仪 2.2.2 共路干涉仪 2.2.2 共路干涉仪 2.2.2 共路干涉仪 2.2.2 共路干涉仪 2.2.2 共路干涉仪 2.2.2 共路干涉仪 2.2.2 共路干涉仪 2.2.2 共路干涉仪 2.2.2 共路干涉仪 2.2.3 典型干涉图及其分析 2.2.3 典型干涉图及其分析 以光学系统的初级像差为例： 表征初级像差所产生的双光束干涉图，可按金斯莱克（Kingslak)所论述的方法进行分析，相对于高斯像点中心的波像差（OPD）可由下式给出： 2.2.3 典型干涉图及其分析 2.2.3 典型干涉图及其分析 2.2.3 典型干涉图及其分析 2.2.3 典型干涉图及其分析 2.2.3 典型干涉图及其分析 2.2.3 典型干涉图及其分析 2.2.3 典型干涉图及其分析 2.2.3 典型干涉图及其分析 2.2.3 典型干涉图及其分析 2.2.3 典型干涉图及其分析 第二次课结束 2.3 波面位相的实时检测技术 2.3 波面位相的实时检测技术 随着激光技术、光电探测技术、计算机技术、图像处理技术和精密机械等技术的发展, 近代光干涉测量技术已得到长足发展。激光技术的发展, 解决了干涉的光源问题, 从紫外到红外的不同波段都有相应的激光光源, 可研制出适应不同波段测量的干涉仪。光电探测技术的发展, 提高了干涉仪测量的空间分辩率和相位分辩率, 为干涉仪的数字化提供了手段。 2.3 波面位相的实时检测技术 到目前为止，已经发展了多种波面未相的实时检测技术，比较典型的有：条纹扫描波面位相实时检测；外差干涉实时位相检测；锁相干涉实时位相检测；快速傅氏变换实时位相检测等。 2.3 波面位相的实时检测技术 2.3.1 移相器（Phase Shifters） 2.3.2 锁相干涉技术(Phase-Lock Interferometry) 2.3.3 外差干涉技术(Heterodyne Interferometry ) 2.3.4 双波长干涉技术（Two-wavelength Interferometry ） 2.3.5 空间调制的波面位相检测（Spatially Modulated Interferometry ） 2.3.6 移相干涉技术（Phase Shifting Interferometry） 2.3.7 动态干涉技术(Dynamic Interferometry) 2.3.1 移相器 2.3.1 移相器 2.3.1 移相器 2.3.1 移相器 2.3.1 移相器 2.3.1 移相器 2.3.1 移相器 2.3.2 锁相干涉仪 2.3.2 锁相干涉仪 基本原理 2.3.3 外差干涉位相检测 外差干涉是使两束干涉光波频率产生一个频差，使原来的以光频为载波的被检信息转移到以这一频差（属视频信号，一般频差为几千赫变到几兆赫）为载波的视频信号，从而使光电探测器后的前置放大器可以用交流放大器来代替原先的直流放大器，使信号的直流漂移及大部分随机噪声得到有效的抑制，提高了检测精度及重复性。 2.3.3 外差干涉位相检测 2.3.3 外差干涉位相检