双面光罩对 管理学院.pdfVIP

摘要 此機台為 RECIF 公司的半導體晶圓分類機 VMT 型 ，其用於 8 吋或 6 吋晶圓上的分類。其主要功能能將晶圓依定義作分類 ，並且能 夠直立傳送 。我們將此機台分為兩部分 ：一為機台構造與結構設計部 分 ；二為視覺系統(包含硬體 ：CCD、光源、打光方式等..與軟體 ：RECIF 軟體 URS2 操作手冊(英文) ，以及影像處理方式如 ：細線化 、強化邊 緣等) ，而第二部分便是我們此組之主要部分 。 在 RECIF 視覺操作手冊中 ，對於 CCD 光源打光方式及一些影像 處理方式相當重視 ，因為這些軟硬體之組合(CCD 解析度 、取像角度 大小 、打光種類 、物體表面散射處理及細線化 、強化邊緣等軟體處理 之結果) ，都會影響整體機台之分類功能 ，如 ：辨識速度快慢 。 指導老師 ：王俊程 學 生 ：葉方貴 、許靖烽 中 華 民 國 90 年 12 月 28 日 目錄 摘要 1.機台規格與視覺系統簡介… … … … … … … … … … … … … …